[發明專利]一種液囊壓力罐在審
| 申請號: | 201711144975.1 | 申請日: | 2017-11-17 |
| 公開(公告)號: | CN109795817A | 公開(公告)日: | 2019-05-24 |
| 發明(設計)人: | 王冬 | 申請(專利權)人: | 沈陽芯源微電子設備股份有限公司 |
| 主分類號: | B65D90/48 | 分類號: | B65D90/48;B65D90/54;B65D90/08 |
| 代理公司: | 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002 | 代理人: | 白振宇 |
| 地址: | 110168 遼*** | 國省代碼: | 遼寧;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 壓力罐 液囊 出液口 進液口 連接蓋 下端 進氣口 吸管 高壓氣管 化學藥液 體內 種液 半導體化學 稱重傳感器 大氣相通 晶圓工藝 密封連接 相對獨立 應用過程 析出 上密封 上端 變質 | ||
1.一種液囊壓力罐,其特征在于:包括壓力罐本體(1)、液囊組件(6)及稱重傳感器(8),其中液囊組件(6)容置于壓力罐本體(1)內,包括液囊(11)、吸管(10)、液囊連接蓋(12)、進液口(14)及出液口(15),該液囊(11)位于所述壓力罐本體(1)內、與壓力罐本體(1)相對獨立,頂端通過所述液囊連接蓋(12)與壓力罐本體(1)連接,所述液囊連接蓋(12)上分別密封連接有進液口(14)及出液口(15),該進液口(14)的下端連接有插入所述液囊(11)內的高壓氣管B(9),所述出液口(15)的下端連接有插入液囊(11)內的吸管(10);所述壓力罐本體(1)上密封連接有進氣口(4),該進氣口(4)的上端與大氣相通,下端連接有插入所述壓力罐本體(1)內的高壓氣管A(2);化學藥液通過所述進液口(14)注入液囊(11)中,該液囊(11)內的化學藥液通過設置于所述壓力罐本體(1)內底部的稱重傳感器(8)稱重,所述液囊(11)內的化學藥液受到由進氣口(4)通入的氣體壓力而由所述出液口(15)壓出。
2.根據權利要求1所述的液囊壓力罐,其特征在于:所述吸管(10)的上端與出液口(15)相連,下端位于所述液囊(11)底部的上方。
3.根據權利要求1所述的液囊壓力罐,其特征在于:所述高壓氣管B(9)的上端與進液口(14)相連,下端位于所述液囊(11)內的頂部。
4.根據權利要求1所述的液囊壓力罐,其特征在于:所述高壓氣管A(2)的上端與進氣口(4)相連,下端位于所述壓力罐本體(1)內的頂部。
5.根據權利要求1所述的液囊壓力罐,其特征在于:所述液囊(11)的頂部通過壓板(13)與液囊連接蓋(12)的下表面連接,該液囊(11)位于所述稱重傳感器(8)的正上方。
6.根據權利要求1所述的液囊壓力罐,其特征在于:所述壓力罐本體(1)上設有泄壓閥(7)。
7.根據權利要求1所述的液囊壓力罐,其特征在于:所述壓力罐本體(1)上安裝有便于拿放的提手(16)。
8.根據權利要求1所述的液囊壓力罐,其特征在于:所述進氣口(4)的氣體壓力大于出液口(15)處的壓力。
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