[發(fā)明專利]一種新型的實(shí)時(shí)監(jiān)控光刻膠噴涂系統(tǒng)及工作方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711140564.5
• 申請(qǐng)日: 2017-11-16
• 公開（公告）號(hào): CN107899781A
• 公開（公告）日: 2018-04-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張煜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號(hào): B05B12/02
• 分類號(hào): B05B12/02;G03F7/16
• 代理公司: 上海申新律師事務(wù)所31272
• 代理人: 俞滌炯

1.一種新型的實(shí)時(shí)監(jiān)控光刻膠噴涂系統(tǒng)，其特征在于，包括：

光刻膠瓶；

光刻膠儲(chǔ)存罐，所述光刻膠儲(chǔ)存罐的入口端連接所述光刻膠瓶的出口端；

光刻膠供應(yīng)系統(tǒng)，所述光刻膠供應(yīng)系統(tǒng)包括光刻膠過濾器、光刻膠壓縮泵和流量調(diào)節(jié)閥；所述光刻膠過濾器安裝于所述光刻膠壓縮泵的入口端處；所述光刻膠儲(chǔ)存罐的出口端連接所述光刻膠過濾器的入口端，所述光刻膠過濾器的出口端連接所述光刻膠壓縮泵的入口端；所述流量調(diào)節(jié)閥的入口端連接所述光刻膠壓縮泵的出口端；

噴嘴，所述噴嘴的入口端連接所述流量調(diào)節(jié)閥的出口端；

紅外線檢測(cè)器，所述紅外線檢測(cè)器設(shè)置于所述噴嘴上；所述紅外線檢測(cè)器連接涂布控制單元，所述涂布控制單元連接機(jī)臺(tái)通信系統(tǒng)，所述機(jī)臺(tái)通信系統(tǒng)連接機(jī)臺(tái)運(yùn)行數(shù)據(jù)整合系統(tǒng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種新型的實(shí)時(shí)監(jiān)控光刻膠噴涂系統(tǒng)，其特征在于，所述紅外檢測(cè)器能監(jiān)控光刻膠實(shí)際開始涂布和的結(jié)束涂布的時(shí)間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種新型的實(shí)時(shí)監(jiān)控光刻膠噴涂系統(tǒng)，其特征在于，所述光刻膠可采用I-line，Krf，Arf的光刻膠和抗反射料、填充材料和防水膜等。

4.一種新型的實(shí)時(shí)監(jiān)控光刻膠噴涂系統(tǒng)的工作方法，其特征在于，包括權(quán)利要求1～3的一種新型的實(shí)時(shí)監(jiān)控光刻膠噴涂系統(tǒng)，所述工作方法包括：

步驟一、當(dāng)涂布機(jī)開始工作時(shí)，所述涂布控制單元根據(jù)設(shè)定的程序?qū)⑿盘?hào)發(fā)送至所述光刻膠供應(yīng)系統(tǒng)；

步驟二、將光刻膠從所述光刻膠瓶輸送至所述光刻膠儲(chǔ)存罐，再經(jīng)由所述光刻膠過濾器、所述光刻膠壓縮泵和所述流量調(diào)節(jié)閥；之后所述噴嘴將所述光刻膠按照既定程序涂布在晶圓上；

步驟三、所述噴嘴將所述光刻膠開始涂布時(shí)，所述紅外線檢測(cè)器會(huì)檢測(cè)到所述光刻膠開始噴涂，并將發(fā)送信號(hào)至所述涂布控制單元，當(dāng)涂布完成時(shí)所述紅外線檢測(cè)器也會(huì)偵測(cè)到并將信號(hào)發(fā)送所述涂布控制單元；

步驟四、所述涂布控制單元根據(jù)所述紅外線檢測(cè)器所反饋的信號(hào)計(jì)算出實(shí)際的涂布時(shí)間，通過所述機(jī)臺(tái)通信系統(tǒng)將得到的數(shù)據(jù)反饋到所述機(jī)臺(tái)運(yùn)行數(shù)據(jù)整合系統(tǒng)中并和程序設(shè)定的理論涂布時(shí)間做比對(duì)來判定涂布是否正常；

步驟五、如果發(fā)生涂布時(shí)間異常就會(huì)實(shí)時(shí)反應(yīng)在所述機(jī)臺(tái)運(yùn)行數(shù)據(jù)整合系統(tǒng)中，并將受到影響得產(chǎn)品及時(shí)逮到，待工程師處理。