[發明專利]一種二硫化鉬靶材的制備方法有效
| 申請號： | 201711139374.1 | 申請日： | 2017-11-16 |
| 公開（公告）號： | CN107746080B | 公開（公告）日： | 2019-06-04 |
| 發明（設計）人： | 崔玉青;席莎;安耿;李晶;朱琦;王娜;武洲 | 申請（專利權）人： | 金堆城鉬業股份有限公司 |
| 主分類號： | C01G39/06 | 分類號： | C01G39/06;C04B35/547;C04B35/645 |
| 代理公司： | 西安創知專利事務所 61213 | 代理人： | 譚文琰 |
| 地址： | 710077 陜西省西*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 二硫化鉬靶 二硫化鉬粉末 二硫化鉬 熱處理 熱壓燒結 真空低溫 坯料 制備 規模化生產 機械加工 生產效率 形狀可控 一次成型 質量純度 工藝流程 靶材 粗坯 球磨 清洗 壓制 分解 | ||
【權利要求書】：
1.一種二硫化鉬靶材的制備方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：
步驟一、將二硫化鉬粉末進行真空低溫熱處理；所述真空低溫熱處理的真空度為1.1×10-2Pa～4.8×10-3Pa，溫度為300℃～900℃，時間為15min～120min；
步驟二、將步驟一中經真空低溫熱處理后的二硫化鉬粉末進行保護氣氛熱壓燒結，得到二硫化鉬坯料；所述保護氣氛熱壓燒結的溫度為800℃～1300℃，壓力為30MPa～500MPa，時間為15min～240min，保護氣氛為氬氣或氮氣；
步驟三、將步驟二中得到的二硫化鉬坯料進行機械加工和清洗，最終得到二硫化鉬靶材。
2.根據權利要求1所述的一種二硫化鉬靶材的制備方法，其特征在于，步驟一中所述二硫化鉬粉末的質量純度大于99.0％，平均粒徑為0.5μm～50μm。
3.根據權利要求1所述的一種二硫化鉬靶材的制備方法，其特征在于，步驟三中所述二硫化鉬靶材的質量純度不小于99.5％，密度不小于4.1g/cm3。
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