[發明專利]一種陀螺儀結構

在審

• 申請號: 201711137644.5
• 申請日: 2017-11-16
• 公開（公告）號: CN109798886A
• 公開（公告）日: 2019-05-24
• 發明（設計）人: 裘進;郭慧芳
• 申請（專利權）人: 上海矽睿科技有限公司
• 主分類號: G01C19/5656
• 分類號: G01C19/5656
• 代理公司: 上海盈盛知識產權代理事務所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤;董琳

1.一種陀螺儀結構，其特征在于，包括：

基板；

固定于所述基板上的錨點；

圍繞所述錨點設置的懸空于所述基板上的多個質量塊，包括：第一質量塊、第二質量塊、第三質量塊和第四質量塊，所述多個質量塊分別通過彈性連接組件連接至所述錨點；

所述第一質量塊、第二質量塊在第一方向上相對設置，用于使所述第一質量塊與第二質量塊在動力驅動下沿第一方向作平移往返運動；

所述第三質量塊、第四質量塊在第二方向上相對設置，且所述第一質量塊、第二質量塊分別與第三質量塊、第四質量塊之間通過耦合部件連接，用于在第一質量塊、第二質量塊在第一方向作平移往返運動時，帶動所述第三質量塊和第四質量塊在第二方向作平移往返運動，所述第二方向垂直于所述第一方向且與所述第一方向位于同一平面內。

2.根據權利要求1所述的陀螺儀結構，其特征在于，所述耦合部件包括：L形連接件以及位于所述L形連接件兩端分別連接至相鄰質量塊的彈性連接件。

3.根據權利要求2所述的陀螺儀結構，其特征在于，所述L形連接件的兩個部分分別沿第一方向和第二方向設置或者分別具有沿第一方向和第二方向的投影。

4.根據權利要求1所述的陀螺儀結構，其特征在于，所述彈性連接組件包括：圍繞錨點設置的矩形框架；位于所述矩形框架內部且連接所述矩形框架與錨點的柔性體；與所述矩形框架邊緣固定連接的連接桿，所述連接桿延伸至質量塊內部；位于所述質量塊內部，且垂直連接于所述連接桿的橫梁，所述橫梁端部具有連接至質量塊的第一彈簧梁。

5.根據權利要求4所述的陀螺儀結構，其特征在于，所述橫梁包括與所述連接桿垂直連接的第一子橫梁，以及分別連接所述第一子橫梁兩端的第二子橫梁，所述第一子橫梁與第二子橫梁之間通過第二彈性梁連接。

6.根據權利要求4或5所述的陀螺儀結構，其特征在于，每個連接桿連接兩個以上的橫梁。

7.根據權利要求4所述的陀螺儀結構，其特征在于，所述彈性組件具有三維旋轉的自由度。

8.根據權利要求1所述的陀螺儀結構，其特征在于，所述第一質量塊和所述第二質量塊在第二方向上的寬度隨著與錨點之間距離變大而逐漸變大。

9.根據權利要求8所述的陀螺儀結構，其特征在于，所述第三質量塊和所述第四質量塊在第一方向上的寬度隨著與錨點之間距離變大而逐漸變大。

10.根據權利要求1或9所述的陀螺儀結構，其特征在于，還包括：第一運動檢測電極，所述第一運動檢測電極設置于各個質量塊遠離所述錨點的外圍區域下方的基板表面。

11.根據權利要求10所述的陀螺儀結構，其特征在于，還包括：第二運動檢測電極組件，包括位于第三質量塊和第四質量塊上的第二運動檢測移動電極，以及固定于基板的第二運動檢測固定電極，所述第二運動檢測移動電極與第二運動檢測固定電極構成電容結構。

12.根據權利要求11所述的陀螺儀結構，其特征在于，所述第二運動檢測電極組件設置于所述第一運動檢測電極組件與錨點之間。

13.根據權利要求1所述的陀螺儀結構，其特征在于，還包括：驅動電極組件，所述驅動電極組包括：位于第一質量塊和第二質量塊上的驅動移動電極，和固定于所述基板上的驅動固定電極，所述驅動固定電極和所述驅動移動電極形成梳齒結構。

14.根據權利要求1所述的陀螺儀結構，其特征在于，還包括：驅動檢測電極組件，包括位于第三質量塊和第四質量塊上的驅動檢測移動電極，以及固定于基板的驅動檢測固定電極，所述驅動檢測移動電極與驅動檢測固定電極構成叉指電容結構。