[發明專利]一種寬氣壓范圍適用的殘余氣體分析系統

在審

• 申請號: 201711135129.3
• 申請日: 2017-11-16
• 公開（公告）號: CN109799315A
• 公開（公告）日: 2019-05-24
• 發明（設計）人: 楊憲福;曹建勇
• 申請（專利權）人: 核工業西南物理研究院
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00
• 代理公司: 核工業專利中心 11007
• 代理人: 高安娜

1.一種寬氣壓范圍適用的殘余氣體分析系統，包括分析腔、進氣口(KF16)、上法蘭、微調閥、電離規、殘余氣體分析儀、分子泵和前級泵，其特征在于：分析腔為圓形真空室，帶有四個接口，其上端為DN100法蘭，用于連接上法蘭，中部兩個左右對穿接口，用于連接電離規的KF40法蘭和用于連接分子泵的CF100法蘭，下端為CF35法蘭，用于連接殘余氣體分析儀；

電離規設置在分析腔中部，殘余氣體分析儀安裝在分析腔中部；

系統通過微調閥水平接口與待測真空室連接。

2.如權利要求1所述的一種寬氣壓范圍適用的殘余氣體分析系統，其特征在于：所述分析腔直徑120mm、高150mm，容積為1177cm³。

3.如權利要求1所述的一種寬氣壓范圍適用的殘余氣體分析系統，其特征在于：所述微調閥最小可調節量為4.7×10^-3Pa.L.s^-1。

4.如權利要求1所述的一種寬氣壓范圍適用的殘余氣體分析系統，其特征在于：分子泵口徑為100mm，為分析腔提供100L/s的抽速。

5.如權利要求1所述的一種寬氣壓范圍適用的殘余氣體分析系統，其特征在于：所述殘余氣體分析系統，當待測真空室的氣壓滿足殘余氣體分析儀工作要求時，不啟動分子泵與前級泵，將微調閥開至最大。

6.如權利要求1所述的一種寬氣壓范圍適用的殘余氣體分析系統，其特征在于：所述殘余氣體分析系統，當待測真空室的氣壓高于殘余氣體分析儀工作要求時，首先啟動前級泵和分子泵，然后根據分析腔的真空度調節微調閥，將分析腔的真空度調節在10^-3～10^-4Pa量級，滿足殘余氣體分析儀正常工作。