[發(fā)明專(zhuān)利]在固態(tài)加熱設(shè)備中建立RF激勵(lì)信號(hào)參數(shù)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711133575.0
• 申請(qǐng)日: 2017-11-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108076552B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-08-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬敏洋;格列高利·J·杜爾南;杜瑞益
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 恩智浦美國(guó)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H05B6/68
• 分類(lèi)號(hào): H05B6/68
• 代理公司: 中科專(zhuān)利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 倪斌

1.一種在包括被配置成包含負(fù)載的腔的固態(tài)加熱設(shè)備中建立射頻RF激勵(lì)信號(hào)參數(shù)的方法，其特征在于，所述方法包括：

將多個(gè)所述RF激勵(lì)信號(hào)參數(shù)設(shè)定成參數(shù)值組合，其中所述多個(gè)RF激勵(lì)信號(hào)參數(shù)包括至少一個(gè)激勵(lì)信號(hào)頻率和至少一個(gè)相移；

由所述加熱設(shè)備將多個(gè)RF激勵(lì)信號(hào)提供到緊接于所述腔的多個(gè)微波能量輻射器，其中所述多個(gè)RF激勵(lì)信號(hào)具有根據(jù)所述參數(shù)值組合限定的信號(hào)特性；

在提供所述多個(gè)RF激勵(lì)信號(hào)的同時(shí)，由所述加熱設(shè)備的至少一個(gè)功率檢測(cè)電路測(cè)量反射RF功率；

基于所述測(cè)量的反射RF功率確定反射功率指示；

存儲(chǔ)所述反射功率指示以產(chǎn)生對(duì)應(yīng)于所述參數(shù)值組合的已存儲(chǔ)反射功率指示；

針對(duì)多個(gè)不同參數(shù)值組合多次重復(fù)所述設(shè)定、提供、測(cè)量、確定和存儲(chǔ)過(guò)程以產(chǎn)生多個(gè)已存儲(chǔ)反射功率指示，其中所述多個(gè)已存儲(chǔ)反射功率指示中的每一個(gè)對(duì)應(yīng)于不同RF信號(hào)參數(shù)值組合；

基于所述多個(gè)已存儲(chǔ)反射功率指示識(shí)別可接受的RF信號(hào)參數(shù)值組合；以及

將所述可接受的RF信號(hào)參數(shù)值組合存儲(chǔ)在所述加熱設(shè)備的存儲(chǔ)器中；

其中識(shí)別所述可接受的RF信號(hào)參數(shù)值組合包括：

將所述可接受的組合識(shí)別為對(duì)應(yīng)于所述多個(gè)已存儲(chǔ)反射功率指示中的指示最低反射功率或回波損耗或者下降到預(yù)定閾值以下的反射功率或回波損耗的任何一個(gè)的RF信號(hào)參數(shù)值組合；

所述加熱設(shè)備包括各自被配置成產(chǎn)生N個(gè)RF激勵(lì)信號(hào)中的一個(gè)的N個(gè)微波生成模塊、各自通過(guò)N個(gè)傳輸線(xiàn)中的一個(gè)耦合到所述N個(gè)微波生成模塊中的一個(gè)的輸出端的N個(gè)微波能量輻射器，以及多個(gè)功率檢測(cè)電路，其中N是大于一的整數(shù)；

測(cè)量所述反射功率包括所述多個(gè)功率檢測(cè)電路中的每一個(gè)測(cè)量沿所述N個(gè)傳輸線(xiàn)中的一個(gè)的反射功率，從而產(chǎn)生多個(gè)反射功率測(cè)量；且

確定所述反射功率指示包括通過(guò)對(duì)所述多個(gè)反射功率測(cè)量應(yīng)用數(shù)學(xué)函數(shù)來(lái)確定所述反射功率指示。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，確定所述反射功率指示包括確定選自以下各項(xiàng)的值：反射功率測(cè)量、多個(gè)反射功率測(cè)量的平均值、回波損耗測(cè)量，以及多個(gè)回波損耗測(cè)量的平均值。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：

針對(duì)所述設(shè)定過(guò)程的第一迭代，設(shè)定所述多個(gè)RF激勵(lì)信號(hào)參數(shù)包括將所有所述多個(gè)RF激勵(lì)信號(hào)參數(shù)設(shè)定成默認(rèn)值；且

所述重復(fù)過(guò)程包括：

選擇所述多個(gè)RF激勵(lì)信號(hào)參數(shù)中的一個(gè)，將針對(duì)所述一個(gè)RF激勵(lì)信號(hào)參數(shù)檢驗(yàn)多個(gè)參數(shù)值，

將所述多個(gè)RF激勵(lì)信號(hào)參數(shù)中的所述選擇的一個(gè)重復(fù)設(shè)定成不同值且進(jìn)行所述提供、測(cè)量、確定和存儲(chǔ)過(guò)程，而將所述多個(gè)RF激勵(lì)信號(hào)參數(shù)中的未選擇的那些設(shè)定成所述默認(rèn)值，

確定所述多個(gè)RF激勵(lì)信號(hào)參數(shù)中的所述選擇的一個(gè)的對(duì)應(yīng)于可接受的RF反射功率的可接受的值；

將所述多個(gè)RF激勵(lì)信號(hào)參數(shù)中的所述選擇的一個(gè)重新設(shè)定成所述可接受的值，以及

重復(fù)所述選擇、重復(fù)設(shè)定和重新設(shè)定過(guò)程，直到已經(jīng)選擇并檢驗(yàn)了所有所述RF激勵(lì)信號(hào)參數(shù)為止。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：

針對(duì)所述設(shè)定過(guò)程的第一迭代，設(shè)定所述多個(gè)RF激勵(lì)信號(hào)參數(shù)包括將所有所述多個(gè)RF激勵(lì)信號(hào)參數(shù)設(shè)定成默認(rèn)值；且

所述重復(fù)過(guò)程包括：

選擇所述多個(gè)RF激勵(lì)信號(hào)參數(shù)中的一個(gè)，將針對(duì)所述一個(gè)RF激勵(lì)信號(hào)參數(shù)檢驗(yàn)多個(gè)參數(shù)值，

將所述多個(gè)RF激勵(lì)信號(hào)參數(shù)中的所述選擇的一個(gè)重復(fù)設(shè)定成不同值且進(jìn)行所述提供、測(cè)量、確定和存儲(chǔ)過(guò)程，而將所述多個(gè)RF激勵(lì)信號(hào)參數(shù)中的未選擇的那些設(shè)定成所述默認(rèn)值，

將所述多個(gè)RF激勵(lì)信號(hào)參數(shù)中的所述選擇的一個(gè)重新設(shè)定成默認(rèn)值，以及

重復(fù)所述選擇、重復(fù)設(shè)定和重新設(shè)定過(guò)程，直到已經(jīng)選擇并檢驗(yàn)了所有所述RF激勵(lì)信號(hào)參數(shù)為止。