[發明專利]一種多點頂緊的微轉動調平裝置

在審

• 申請號: 201711133078.0
• 申請日: 2017-11-15
• 公開（公告）號: CN107976375A
• 公開（公告）日: 2018-05-01
• 發明（設計）人: 楊慶生;劉志遠;劉扶慶;郭志明
• 申請（專利權）人: 北京工業大學
• 主分類號: G01N3/40
• 分類號: G01N3/40;G01N3/02
• 代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司11203
• 代理人: 沈波

1.一種多點頂緊的微轉動調平裝置，其特征在于：臺體(1)為調平臺的主體結構，臺體(1)的上部中心處開有第一容置洞(2)；蓋板(10)的中心處開有觀察窗(11)；臺體(1)的四角處開有連接孔(3，4，5，6)，蓋板(10)的四角處開有連接孔(12，13，14，15)，臺體(1)的連接孔(3，4，5，6)與蓋板(10)的連接孔(12，13，14，15)通過螺栓連接；第一容置洞(2)底部開有第一通孔(7)，蓋板(10)四邊中點位置開有第二通孔(16)、第三通孔(17)、第四通孔(18)、第五通孔(19)，通孔內均布有螺紋，螺紋與頂絲相配合；試樣杯(8)放置在容置洞(2)內，試樣杯(8)與第一容置洞(2)等高，試樣杯(8)的外直徑小于第一容置洞(2)的內直徑，試樣杯(8)的上部中心開有第二容置洞(9)。

2.根據權利要求1所述的一種多點頂緊的微轉動調平裝置，其特征在于：試樣杯(8)的材質為耐磨不銹鋼。

3.根據權利要求1所述的一種多點頂緊的微轉動調平裝置，其特征在于：試樣杯(8)的外直徑小于第一容置洞內直徑1至2毫米。

4.根據權利要求1所述的一種多點頂緊的微轉動調平裝置，其特征在于：蓋板厚度1至2毫米。

5.根據權利要求1所述的一種多點頂緊的微轉動調平裝置，其特征在于：該裝置的實驗方法具體步驟如下，首先將被測試樣鑲嵌在第二容置洞(9)中，通過研磨、拋光，使得被測試樣上表面同試樣杯(8)上邊緣在同一平面；將試樣杯(8)裝入第一容置洞(2)中，通過螺栓連接臺體(1)上的連接孔(3-6)與蓋板(10)上的連接孔(12-15)，用螺絲刀頂緊通孔(7)中頂絲，再頂緊通孔(16-19)中頂絲；將臺體(1)放入納米壓痕儀的卡臺中，通過顯微鏡觀察微尺度正方形待測區域；分別聚焦待測區域水平左右側中心點A和B，當A高于B時，用螺絲刀頂緊第四通孔(18)的頂絲直到A和B同高；當B高于A時，用螺絲刀頂緊第五通孔(19)的頂絲直到A和B同高；分別聚焦待測區域上下側中心點C和D，當觀察到C高于D時，用螺絲刀頂緊第二通孔(16)中頂絲直到C和D同高；當觀察到C低于D時，用螺絲刀頂緊第三通孔(17)中頂絲直到C和D同高。

6.根據權利要求5所述的一種多點頂緊的微轉動調平裝置，其特征在于：微尺度正方形待測區域邊長為100微米至500微米。