[發明專利]探針卡電路及其測試方法有效
| 申請號： | 201711132890.1 | 申請日： | 2017-11-15 |
| 公開（公告）號： | CN107765039B | 公開（公告）日： | 2020-07-31 |
| 發明（設計）人： | 任棟梁;錢亮 | 申請（專利權）人： | 上海華虹宏力半導體制造有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/02 | 分類號： | G01R1/02;G01R1/073;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦東*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 探針 電路 及其 測試 方法 | ||
1.一種探針卡電路，其特征在于，所述探針卡電路包括探針單元、濾波單元、開關單元、第一節點和第二節點；
所述濾波單元、第一節點、探針單元和第二節點順次連接構成一回路，所述開關單元處于所述回路中；
所述探針單元與一晶圓電連接；
一晶圓測試機連接所述第一節點，所述第二節點接地；
所述開關單元控制所述探針卡電路的導通和斷開，所述開關單元開啟時，所述探針卡電路導通；所述開關單元閉合時，所述探針卡電路斷開，以規避所述濾波單元的充放電效應對晶圓造成的影響。
2.如權利要求1所述的探針卡電路，其特征在于，所述濾波單元包括至少一個電容。
3.如權利要求2所述的探針卡電路，其特征在于，所述濾波單元包括第一電容和第二電容，所述第一電容與所述第二電容并聯，所述第一電容的容值與所述第二電容的容值不相等。
4.如權利要求3所述的探針卡電路，其特征在于，所述第一電容和所述第二電容中的一個容值大于等于0.1μF，另一個容值小于等于0.01μF。
5.如權利要求1所述的探針卡電路，其特征在于，所述晶圓包括多個芯片，每個所述芯片上設置有測試焊點。
6.如權利要求5所述的探針卡電路，其特征在于，所述探針單元包括多個探針，所述探針的數量與所述晶圓上芯片的數量相匹配，每個所述探針與每個所述芯片的測試焊點接觸。
7.一種探針卡，其特征在于，包括如權利要求1-6中任一項所述的探針卡電路，實現晶圓測試機和晶圓之間的信號連接。
8.一種晶圓的測試方法，其特征在于，采用如權利要求7所述的探針卡，對晶圓進行測試。
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