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[發明專利]一種在碳陶復合材料內部在線原位制備氧化硅晶須的方法有效

專利信息
申請號: 201711132310.9 申請日: 2017-11-15
公開(公告)號: CN107879756B 公開(公告)日: 2019-11-15
發明(設計)人: 馮鋒;左新章;李建章;王義洪;王鵬;成來飛;劉夢珠 申請(專利權)人: 西安鑫垚陶瓷復合材料有限公司
主分類號: C04B35/80 分類號: C04B35/80;C04B35/565;C04B35/622;C30B25/00;C30B29/18;C30B29/62
代理公司: 61211 西安智邦專利商標代理有限公司 代理人: 楊引雪<國際申請>=<國際公布>=<進入
地址: 710065陜西省西安市*** 國省代碼: 陜西;61
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 復合材料 內部 在線 原位 制備 氧化 硅晶須 方法
【權利要求書】:

1.一種在碳陶復合材料內部在線原位制備氧化硅晶須的方法,其特征在于:包括以下步驟,

1)將碳化硅陶瓷基復合材料放入化學氣相沉積爐內反應,爐內溫度在900~1100℃之間;

2)當碳化硅陶瓷基復合材料密度增大后,將制備碳化硅陶瓷基體的先驅體氣體與空氣的混合氣體引入沉積爐內發生反應;

制備碳化硅陶瓷基體的先驅體氣體通過以下方法得到,采用氣相運輸的方法,將載氣氣體氫氣通入MTS液體內,通過鼓泡的形式帶出MTS氣體,并與稀釋氣體氬氣一起混合形成先驅體 氣體;載氣氣體氫氣的流速為1~3L/min,稀釋氣體氬氣的流速為1~2L/min,空氣的流速為0.1~0.3L/min;

3)在陶瓷基復合材料內部在線原位形成氧化硅晶須。

2.根據權利要求1所述的在碳陶復合材料內部在線原位制備氧化硅晶須的方法,其特征在于:所述碳化硅陶瓷基復合材料為纖維增強的碳化硅陶瓷基體復合材料,密度低于1.3g/cm3

3.根據權利要求2所述的在碳陶復合材料內部在線原位制備氧化硅晶須的方法,其特征在于:所述MTS液體的環境溫度為室溫,壓力為常壓。

4.根據權利要求1至3內任一所述的在碳陶復合材料內部在線原位制備氧化硅晶須的方法,其特征在于:化學氣相沉積爐內的壓力為2~5kPa。

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