[發明專利]一種光學鍍膜膜厚監測裝置

在審

• 申請號: 201711131572.3
• 申請日: 2017-11-15
• 公開（公告）號: CN107894218A
• 公開（公告）日: 2018-04-10
• 發明（設計）人: 秦文鋒;陳路玉;楊永華
• 申請（專利權）人: 中山市創科科研技術服務有限公司
• 主分類號: G01B15/02
• 分類號: G01B15/02
• 代理公司: 中山市捷凱專利商標代理事務所(特殊普通合伙)44327
• 代理人: 楊連華

技術領域

本發明涉及厚度監測設備領域，本發明涉及一種光學鍍膜膜厚監測裝置。

背景技術

鍍膜是用物理或化學的方法在材料表面鍍上一層透明的電解質膜，或鍍一層金屬膜，目的是改變材料表面的反射和透射特性。在可見光和紅外線波段范圍內，大多數金屬的反射率都可達到78％～98％，但不可高于98％。無論是對于CO2激光，采用銅、鉬、硅、鍺等來制作反射鏡，采用鍺、砷化鎵、硒化鋅作為輸出窗口和透射光學元件材料，還是對于YAG激光采用普通光學玻璃作為反射鏡、輸出鏡和透射光學元件材料，都不能達到全反射鏡的99％以上要求。不同應用時輸出鏡有不同透過率的要求，因此必須采用光學鍍膜方法。由于光學鍍膜的厚度普遍較薄，因此其厚度比較難以測量，目前我國使用的薄膜厚度測量裝置只能夠對點厚度進行測量，不能對物品表面厚度進行連續測量，由于薄膜厚度在不同位置并不相同，因此測量結果較為不準確。

發明內容

本發明的目的就在于為了解決上述問題而提供一種光學鍍膜膜厚監測裝置。

本發明通過以下技術方案來實現上述目的：

一種光學鍍膜膜厚監測裝置，包括底部固定吸盤、裝置金屬殼體、電子束發生箱、電子束發射頭、抽真空機、裝置主腔體、干燥熱電偶，所述底部固定吸盤上方設置有所述裝置金屬殼體，所述裝置金屬殼體上方設置有所述電子束發生箱，所述電子束發生箱上方設置有所述電子束發射頭，所述電子束發射頭上方安裝有裝置壓力表，所述裝置壓力表上方安裝有所述抽真空機，所述抽真空機上方安裝有所述裝置主腔體，所述裝置主腔體上方安裝有所述干燥熱電偶，所述干燥熱電偶下方安裝有氣體干燥箱，所述氣體干燥箱下方安裝有真空度監測器，所述真空度監測器下方安裝有厚度測算箱,所述厚度測算箱下方安裝有操作控制箱，所述操作控制箱下方安裝有液晶顯示面板。

本實施例中，所述電子束發射頭包含聚焦調節器、電子束運輸管、電子振蕩管、加熱電離箱、溫度調節器，所述聚焦調節器下方安裝有電子束運輸管，所述電子束運輸管下方安裝有所述電子振蕩管，所述電子振蕩管下方安裝有所述加熱電離箱，所述加熱電離箱下方安裝有所述溫度調節器。

本實施例中，所述厚度測算箱包含信號發射器、信號放大器、衰減測量器、微型控制器、濕度感應器、濕度調節器、工作指示燈，所述信號發射器下方安裝有所述信號放大器，所述信號放大器下方安裝有所述衰減測量器，所述衰減測量器下方安裝有所述微型控制器，所述微型控制器下方安裝有所述濕度感應器，所述濕度感應器下方安裝有所述濕度調節器，所述濕度調節器上方安裝有所述工作指示燈。

本實施例中，所述底部固定吸盤與所述裝置金屬殼體連接，所述電子束發生箱與所述電子束發射頭連接。

本實施例中，所述裝置壓力表與所述抽真空機連接，所述裝置主腔體與所述干燥熱電偶連接。

本實施例中，所述氣體干燥箱9設置在所述干燥熱電偶8頂部，所述操作控制箱12與所述液晶顯示面板13連接。

本實施例中，所述裝置金屬殼體由合金鋼壓制而成，表面進行拋光處理，厚度為5mm。

本實施例中，所述厚度測算箱11垂直設置于所述真空度監測器10下方,并通過管道與所述電子束發生箱3連接。

本實施例中，所述聚焦調節器與所述電子束運輸管連接，所述電子振蕩管與所述電子束運輸管連接，所述加熱電離箱正對所述溫度調節器。

本實施例中，所述信號放大器1102與所述信號發射器1101連接，所述衰減測量器1103與所述微型控制器1104連接,所述濕度感應器1105與所述濕度調節器1106連接，所述工作指示燈1107設置在所述厚度測算箱11底部。

本發明的有益效果在于：采用電子束對薄膜厚度進行測量，可以進行連續測量，以平均厚度作為薄膜厚度測量的結果，測量結果準確，工作效率高。

附圖說明

圖1是本發明所述一種光學鍍膜膜厚監測裝置的主視結構簡圖；

圖2是本發明所述一種光學鍍膜膜厚監測裝置的左視結構簡圖；

圖3是本發明所述一種光學鍍膜膜厚監測裝置的電子束發射頭主視結構簡圖；

圖4是本發明所述一種光學鍍膜膜厚監測裝置的厚度測算箱主視結構簡圖。附圖標記說明如下：