[發明專利]一種多功能鋁和氧化鋁結構及其制備方法在審
| 申請號： | 201711131411.4 | 申請日： | 2017-11-15 |
| 公開（公告）號： | CN107833874A | 公開（公告）日： | 2018-03-23 |
| 發明（設計）人： | 薛維平 | 申請（專利權）人： | 上海芯石微電子有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/535 | 分類號： | H01L23/535;H01L21/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201605 上海市松*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多功能 氧化鋁 結構 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種多功能鋁和氧化鋁結構，其結構包括：引線孔區域，單晶硅101里面包含低阻單晶硅102，低阻單晶硅102上面是鋁金屬103；非引線孔區域，單晶硅101上面是氧化鋁301。
2.一種多功能鋁和氧化鋁結構的制備方法，其方法包括：
A、鋁金屬淀積，在半導體器件表面淀積一層鋁金屬103；
B、鋁金屬光刻、氧原子注入及去膠，將鋁金屬布線外的區域注入氧原子，形成經過氧原子注入的鋁金屬201；
C、高溫退火，將氧原子和鋁原子進行化學反應，生成絕緣且性能穩定的氧化鋁301。
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