[發(fā)明專(zhuān)利]一種行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)的下盤(pán)結(jié)構(gòu)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711129232.7
• 申請(qǐng)日: 2017-11-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107825286A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-03-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳秀鳳;范鏡;張彥志
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳賽貝爾自動(dòng)化設(shè)備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B24B37/08
• 分類(lèi)號(hào): B24B37/08;B24B37/12;B24B55/03;B24B29/02
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

[技術(shù)領(lǐng)域]

本發(fā)明涉及研磨機(jī)或拋光機(jī)，尤其涉及一種行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)的下盤(pán)結(jié)構(gòu)。

[背景技術(shù)]

雙面研磨/拋光機(jī)非常適用于硬脆性材料薄形精密零件的上、下兩平行端面的同時(shí)磨削及拋光，可以加工出平面度、等厚度及粗糙度要求非常高的薄形零件，所以在光學(xué)及半導(dǎo)體材料的加工領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。

申請(qǐng)?zhí)枮镃N201510181010.4的發(fā)明申請(qǐng)公開(kāi)了一種行星齒輪式雙面研磨/ 拋光機(jī)，太陽(yáng)輪固定在太陽(yáng)輪驅(qū)動(dòng)軸的上端，太陽(yáng)輪驅(qū)動(dòng)軸的中部由安裝座支承，太陽(yáng)輪升降機(jī)構(gòu)包括第一螺套、第二螺套、托板和復(fù)數(shù)根拉桿；第一螺套松套在安裝座外面，由安裝座支承，第二螺套的內(nèi)螺紋與第一螺套的外螺紋旋合，第一螺套由升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)；安裝座的下部包括復(fù)數(shù)個(gè)拉桿孔，拉桿的上端固定在第二螺套上，拉桿的下端穿過(guò)拉桿孔，固定在托板上，托板安裝在太陽(yáng)輪驅(qū)動(dòng)軸的下部。

該發(fā)明涉及的行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)因下盤(pán)沒(méi)設(shè)計(jì)水冷結(jié)構(gòu)，磨盤(pán)與工件長(zhǎng)時(shí)間在加工過(guò)程中的接觸，而造成磨盤(pán)與磨液發(fā)熱，磨液蒸發(fā)快，容易產(chǎn)生對(duì)產(chǎn)品表面的損傷。而研磨拋光使用的磨液對(duì)溫度有一定的使用要求，過(guò)高的溫度會(huì)使磨液中的水份過(guò)快的蒸發(fā)掉，導(dǎo)致磨液容易結(jié)晶，從而使磨液的損耗量增加，另外設(shè)備上使用的冶具有些是使用膠水粘合的，過(guò)高的溫度會(huì)使冶具脫膠，從而降低了冶具的使用壽命。

另外，雖然內(nèi)齒圈的高度可以通過(guò)螺套來(lái)進(jìn)行調(diào)整，但是用螺套來(lái)調(diào)整內(nèi)齒圈高度很緩慢,內(nèi)齒圈不能快速升降，不便于快速裝卸工件。

[發(fā)明內(nèi)容]

本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種產(chǎn)品加工質(zhì)量高、磨液的損耗量小的行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)的下盤(pán)結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明進(jìn)一步要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種便于內(nèi)齒圈的快速升降的行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)的下盤(pán)結(jié)構(gòu)。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是，一種行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)的下盤(pán)結(jié)構(gòu)，包括機(jī)架、太陽(yáng)輪、內(nèi)齒圈、下研磨盤(pán)、中心回轉(zhuǎn)接頭和下研磨盤(pán)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；機(jī)架包括機(jī)座和固定在機(jī)座上的安裝座，下研磨盤(pán)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括托盤(pán)和下研磨盤(pán)驅(qū)動(dòng)軸；下研磨盤(pán)驅(qū)動(dòng)軸穿過(guò)安裝座的內(nèi)孔，由安裝座中的軸承支承；下研磨盤(pán)固定在托盤(pán)上，托盤(pán)固定在下研磨盤(pán)驅(qū)動(dòng)軸的上端；中心回轉(zhuǎn)接頭包括相互配合的回轉(zhuǎn)環(huán)和固定環(huán)，回轉(zhuǎn)環(huán)安裝在托盤(pán)下方，跟隨托盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)，固定環(huán)固定在安裝座上部；下研磨盤(pán)包括冷卻水套，冷卻水套的兩個(gè)水口分別通過(guò)管道與回轉(zhuǎn)環(huán)的兩個(gè)水口連通，固定環(huán)的兩個(gè)水口分別為進(jìn)水口和出水口。

以上所述的行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)的下盤(pán)結(jié)構(gòu)，安裝座包括兩條軸向水道，軸向水道包括兩個(gè)上部水口和兩個(gè)下部水口，軸向水道的上部水口位于安裝座的上部，與固定環(huán)的水口連通，軸向水道的下部水口分別進(jìn)水和出水。

以上所述的行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)的下盤(pán)結(jié)構(gòu)，中心回轉(zhuǎn)接頭包括復(fù)數(shù)根導(dǎo)向桿和復(fù)數(shù)個(gè)壓簧，托盤(pán)包括復(fù)數(shù)個(gè)朝下開(kāi)口的彈簧座孔和復(fù)數(shù)個(gè)導(dǎo)向孔；彈簧座孔和導(dǎo)向孔分別沿托盤(pán)的周向均布，壓簧安裝在彈簧座孔中，壓簧的底面抵住回轉(zhuǎn)環(huán)的頂面；導(dǎo)向桿的桿部插在導(dǎo)向孔中，與導(dǎo)向孔滑動(dòng)配合，導(dǎo)向桿下端的螺紋旋在回轉(zhuǎn)環(huán)頂面的螺紋孔中；安裝座的上部包括托架，固定環(huán)安裝在托架上。

以上所述的行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)的下盤(pán)結(jié)構(gòu)，包括與壓簧數(shù)量相同的調(diào)壓螺釘和調(diào)壓墊，調(diào)壓墊布置在壓簧頂面與彈簧座孔底面之間，彈簧座孔底部包括螺紋通孔，調(diào)壓螺釘由外向內(nèi)旋入螺紋通孔，調(diào)壓螺釘?shù)那岸隧斣谡{(diào)壓墊上。

以上所述的行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)的下盤(pán)結(jié)構(gòu)，固定環(huán)的頂部包括兩道環(huán)槽，回轉(zhuǎn)環(huán)的底部包括兩個(gè)水孔，兩個(gè)水孔分別與兩道環(huán)槽徑向相對(duì)；固定環(huán)的兩道環(huán)槽分別與固定環(huán)的兩個(gè)水口連通，回轉(zhuǎn)環(huán)底部的兩個(gè)水孔分別與回轉(zhuǎn)環(huán)的兩個(gè)水口連通；固定環(huán)的頂面和回轉(zhuǎn)環(huán)的底面各包括聚四氟乙烯層。

以上所述的行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)的下盤(pán)結(jié)構(gòu)，下研磨盤(pán)包括水冷盤(pán)和磨盤(pán)，水冷盤(pán)與磨盤(pán)連接；水冷盤(pán)的頂部包括冷卻水道，水冷盤(pán)與磨盤(pán)之間用螺栓鎖緊，水冷盤(pán)的頂面與磨盤(pán)的底面之間通過(guò)密封膠密封；水冷盤(pán)的底部包括兩個(gè)水口，水冷盤(pán)的兩個(gè)水口與冷卻水道連通，水冷盤(pán)的兩個(gè)水口分別通過(guò)軟管與回轉(zhuǎn)環(huán)的兩個(gè)水口連通。

以上所述的行星齒輪式雙面研磨/拋光機(jī)的下盤(pán)結(jié)構(gòu)，包括內(nèi)齒圈升降機(jī)構(gòu)，內(nèi)齒圈升降機(jī)構(gòu)包括端面凸輪、升降套、凸輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和齒圈支架；端面凸輪松套在安裝座的下部，底面由安裝座的底座支承；升降套松套在安裝座的中部，內(nèi)齒圈固定在齒圈支架上，齒圈支架安裝在升降套上；凸輪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在機(jī)架上，驅(qū)動(dòng)端面凸輪轉(zhuǎn)動(dòng)，升降套由端面凸輪頂部的工作面驅(qū)動(dòng)。