[發明專利]基于光纖耦合的光斑檢測方法和系統

有效

• 申請號: 201711127675.2
• 申請日: 2017-11-15
• 公開（公告）號: CN107991062B
• 公開（公告）日: 2020-04-10
• 發明（設計）人: 何鋒赟;曾飛;趙楠;胡玥;董健;劉韜
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316
• 代理人: 趙勍毅

1.一種基于光纖耦合的光斑檢測系統，其特征在于，所述光斑檢測系統通過掃描的方式檢測光斑的形狀，包括光源、掃描裝置、光纖以及光電探測器；所述光源用于發出輸入光束，掃描裝置、光纖、光電探測器沿光路方向依次設置；所述掃描裝置用于驅使光纖對光斑進行連續掃描，所述光纖用于接收傳輸的光能量，所述光電探測器用于記錄耦合能量值，光斑的形狀和能量分布由耦合能量值進行反卷積運算得到。

2.如權利要求1所述的基于光纖耦合的光斑檢測系統，其特征在于，所述系統還包括待檢光學系統，所述待檢光學系統設置于光路上，所述掃描裝置設置于待檢光學系統之前或之后，所述光纖設置于待檢光學系統之后；

所述待檢光學系統用于將光束經過第一變換后并輸出到光纖端面。

3.如權利要求2所述的基于光纖耦合的光斑檢測系統，其特征在于，所述第一變換包括擴束、準直、會聚中的一種或多種。

4.如權利要求1所述的基于光纖耦合的光斑檢測系統，其特征在于，所述輸入光束根據待檢光學系統確定。

5.一種基于光纖耦合的光斑檢測方法，其特征在于，所述方法應用于基于光纖耦合的光斑檢測系統，所述光斑檢測系統通過掃描的方式檢測光斑的形狀，包括光源、掃描裝置、光纖以及光電探測器；所述光源、掃描裝置、光纖、光電探測器沿光路方向依次設置；所述方法包括以下步驟：

光源發出輸入光束，掃描裝置驅使光纖對光斑進行連續掃描，光纖接收傳輸的光能量；

光電探測器記錄耦合能量值；光斑的形狀和能量分布由耦合能量值進行反卷積運算得到。

6.如權利要求5所述的基于光纖耦合的光斑檢測方法，其特征在于，所述系統還包括待檢光學系統，所述待檢光學系統設置于光路上，所述掃描裝置設置于待檢光學系統之前或之后，所述光纖設置于待檢光學系統之后；所述方法還包括步驟：

待檢光學系統將光束經過第一變換后并輸出到光纖端面。

7.如權利要求6所述的基于光纖耦合的光斑檢測方法，其特征在于，所述第一變換包括擴束、準直、會聚中的一種或多種。

8.如權利要求5所述的基于光纖耦合的光斑檢測方法，其特征在于，所述輸入光束根據待檢光學系統確定。

9.一種基于光纖耦合的光斑檢測系統，其特征在于，所述光斑檢測系統通過掃描的方式檢測光斑的形狀，包括光源、掃描裝置、待檢光學系統、反射鏡以及光電探測器；所述光源、反射鏡、待檢光學系統、光電探測器沿光路依次設置；所述光電探測器上設置有光束限制元件；

所述光源用于發出輸入光束，所述反射鏡用于將光束反射至待檢光學系統，所述待檢光學系統用于將光束經過第一變換后并輸出到光電探測器；

所述掃描裝置設置于光電探測器位置，用于驅使光電探測器移動，以使得光束限制元件對光斑進行連續掃描，所述光束限制元件用于限制耦合的光能量；

所述光電探測器用于記錄耦合能量值；光斑的形狀和能量分布由耦合能量值進行反卷積運算得到。

10.如權利要求9所述的基于光纖耦合的光斑檢測系統，其特征在于，所述光束限制元件包括圓形孔徑。