[發(fā)明專利]掃描電鏡三維圖像重構(gòu)專用樣品臺(tái)存儲(chǔ)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711126803.1
• 申請(qǐng)日: 2017-11-15
• 公開（公告）號(hào): CN108346552B
• 公開（公告）日: 2019-07-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 倪兵;王奕文;鞏志偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 華東師范大學(xué)
• 主分類號(hào): H01J37/20
• 分類號(hào): H01J37/20
• 代理公司: 上海上谷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31342
• 代理人: 蔡繼清

1.一種掃描電鏡三維圖像重構(gòu)專用樣品臺(tái)存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述掃描電鏡三維圖像重構(gòu)專用樣品臺(tái)為長(zhǎng)桿狀，包括頭部和桿部；所述掃描電鏡三維圖像重構(gòu)專用樣品臺(tái)存儲(chǔ)裝置包括一支架，所述支架包括板面和支腳，所述板面設(shè)有樣品臺(tái)孔；所述裝置還包括樣品臺(tái)套，使用時(shí)先將所述掃描電鏡三維圖像重構(gòu)專用樣品臺(tái)的桿部插入所述樣品臺(tái)套內(nèi)，然后再將樣品臺(tái)套插入所述樣品臺(tái)孔內(nèi)，從而使得所述掃描電鏡三維圖像重構(gòu)專用樣品臺(tái)固定在所述支架上；

其中，所述裝置包括樣品臺(tái)套組，所述樣品臺(tái)套組包括多種外徑相同內(nèi)徑不同的樣平臺(tái)套，所述樣品臺(tái)套的深度與所述掃描電鏡三維圖像重構(gòu)專用樣品臺(tái)的桿部相等，并且所述樣品臺(tái)套的長(zhǎng)度大于所述樣品臺(tái)孔的深度；

所述掃描電鏡三維圖像重構(gòu)專用樣品臺(tái)存儲(chǔ)裝置還包括一容納所述支架的樣品臺(tái)盒；所述樣品臺(tái)盒包括盒體以及和所述盒體配合的可密封連接于所述盒體的盒蓋，所述盒體的內(nèi)壁具有一圈凸沿，所述凸沿上設(shè)有一密封墊圈；所述支架的所述板面中部設(shè)有一立柱，所述立柱頂端設(shè)有一平臺(tái)；當(dāng)所述支架放入所述樣品臺(tái)盒后，所述板面的下表面邊緣部抵接于所述密封墊圈，閉合所述盒蓋則所述盒蓋向內(nèi)緊壓所述平臺(tái)，從而使得所述板面的下表面緊壓在所述密封墊圈上；

并且，所述支架的所述板面還設(shè)有通氣孔，所述板面的下表面設(shè)有一層聚四氟乙烯膜。

2.如權(quán)利要求1所述的掃描電鏡三維圖像重構(gòu)專用樣品臺(tái)存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述樣品臺(tái)孔為盲孔。

3.如權(quán)利要求1所述的掃描電鏡三維圖像重構(gòu)專用樣品臺(tái)存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述樣品臺(tái)套的寬度大于所述掃描電鏡三維圖像重構(gòu)專用樣品臺(tái)頭部的寬度。

4.如權(quán)利要求1所述的掃描電鏡三維圖像重構(gòu)專用樣品臺(tái)存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述樣品臺(tái)孔的數(shù)量為6個(gè)以上。

5.如權(quán)利要求4所述的掃描電鏡三維圖像重構(gòu)專用樣品臺(tái)存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述樣品臺(tái)孔的數(shù)量為10個(gè)以上。

6.如權(quán)利要求1所述的掃描電鏡三維圖像重構(gòu)專用樣品臺(tái)存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述樣品臺(tái)套的材質(zhì)為橡膠、硅膠、金屬或塑料。

7.如權(quán)利要求1所述的掃描電鏡三維圖像重構(gòu)專用樣品臺(tái)存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述盒蓋設(shè)有真空抽氣閥門。