[發(fā)明專利]一種多通道陣列傳感器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201711124906.4 | 申請(qǐng)日： | 2017-11-14 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN108061741B | 公開（公告）日： | 2021-03-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 孫旭輝;吳慶樂;張平平;張書敏;徐紅艷 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 蘇州慧聞納米科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01N27/12 | 分類號(hào)： | G01N27/12;G01K7/16 |
| 代理公司： | 北京智匯東方知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11391 | 代理人： | 康正德;薛峰 |
| 地址： | 215123 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 通道 陣列 傳感器 | ||
1.一種多通道陣列傳感器，其特征在于，包括：
多個(gè)電極；和
分別與所述多個(gè)電極對(duì)應(yīng)的多個(gè)敏感材料層，每一所述敏感材料層是由敏感材料施加在對(duì)應(yīng)的電極上形成；
其中，每一所述電極的線寬和線距設(shè)置成根據(jù)施加在該電極上的敏感材料的預(yù)設(shè)基礎(chǔ)電阻來(lái)調(diào)節(jié)；
每一敏感材料對(duì)應(yīng)的電極的最佳線寬和最佳線距通過以下方法來(lái)確定：
在線寬和線距均不相同的多個(gè)電極上施加相同的敏感材料，以獲取不同電極上的敏感材料的基礎(chǔ)電阻；
比較不同電極上的敏感材料的基礎(chǔ)電阻，以獲取最佳基礎(chǔ)電阻；
根據(jù)最佳基礎(chǔ)電阻確定對(duì)應(yīng)的電極，以獲得該電極對(duì)應(yīng)的線寬和線距，并將該電極對(duì)應(yīng)的線寬和線距作為該敏感材料的最佳線寬和最佳線距；
所述多個(gè)敏感材料層上的敏感材料選擇為完全相同、部分相同或完全不同；
且所述多個(gè)電極之間的線寬和線距設(shè)置成在所述多個(gè)敏感材料層上的敏感材料完全不同時(shí)選擇完全相同、部分相同或者均不相同；
所述多個(gè)電極之間的線寬和線距設(shè)置成在所述多個(gè)敏感材料層上的敏感材料部分相同時(shí)選擇完全相同、部分相同或者均不相同；
所述預(yù)設(shè)基礎(chǔ)電阻為所述敏感材料的最佳基礎(chǔ)電阻，以使得所述敏感材料達(dá)到最佳敏感性能。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多通道陣列傳感器，其特征在于，所述電極為交叉齒狀電極。
3.根據(jù)權(quán)利要求1-2中任一項(xiàng)所述的多通道陣列傳感器，其特征在于，還包括：
基底，用于在所述基底上進(jìn)行刻蝕，以形成所述多個(gè)電極；
其中，所述基底的材料選自表面覆蓋絕緣層的硅片、石英、陶瓷和塑料中的一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多通道陣列傳感器，其特征在于，所述基底的形狀為正方形或長(zhǎng)方形。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的多通道陣列傳感器，其特征在于，所述基底的長(zhǎng)度為范圍在0.6-10mm之間的任一數(shù)值，寬度為范圍在0.6-10mm之間的任一數(shù)值，厚度為范圍在0.3-1mm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-2中任一項(xiàng)所述的多通道陣列傳感器，其特征在于，所述電極的線寬為范圍在1-100μm之間的任一數(shù)值，線距為范圍在1-100μm之間的任一數(shù)值，厚度為范圍在10nm-50μm之間的任一數(shù)值。
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