[發(fā)明專(zhuān)利]熱管嵌入式散熱裝置及其制造方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201711119312.4 | 申請(qǐng)日: | 2017-11-14 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN107968078A | 公開(kāi)(公告)日: | 2018-04-27 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 黃光文;李勇;周文杰;何柏林;陳韓蔭;陳創(chuàng)新 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 華南理工大學(xué);廣東新創(chuàng)意科技有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L23/367 | 分類(lèi)號(hào): | H01L23/367;H01L23/427;H01L23/467;H01L21/48 |
| 代理公司: | 廣州市華學(xué)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司44245 | 代理人: | 李瑤 |
| 地址: | 511458 廣東省廣州市*** | 國(guó)省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 熱管 嵌入式 散熱 裝置 及其 制造 方法 | ||
1.熱管嵌入式散熱裝置,其特征在于:包括熱沉和熱管,熱沉的底面設(shè)有凹槽,凹槽的開(kāi)口方向朝向熱沉與發(fā)熱芯片連接的一面,熱管的一端位于凹槽的內(nèi)部,熱管部分表面裸露于凹槽的外部,并能夠與發(fā)熱芯片接觸,裸露于凹槽的外部的熱管與熱沉的底面平齊。
2.按照權(quán)利要求1所述的熱管嵌入式散熱裝置,其特征在于:熱沉設(shè)有若干個(gè)翅片,若干個(gè)翅片均分別設(shè)有通孔,熱管的另外一端穿設(shè)于通孔內(nèi),且與通孔緊密配合。
3.按照權(quán)利要求2所述的熱管嵌入式散熱裝置,其特征在于:熱沉與若干個(gè)翅片為一體結(jié)構(gòu)。
4.按照權(quán)利要求3所述的熱管嵌入式散熱裝置,其特征在于:若干個(gè)翅片的側(cè)面設(shè)有送風(fēng)裝置,送風(fēng)裝置的氣流從若干個(gè)翅片之間穿過(guò)。
5.按照權(quán)利要求4所述的熱管嵌入式散熱裝置,其特征在于:熱管包括依次相連的翅片連接段、彎管段以及熱沉連接段,翅片連接段和彎管段的橫截面為圓形。
6.權(quán)利要求1至5任意一項(xiàng)所述的熱管嵌入式散熱裝置的制造方法,其特征在于:包括以下步驟,
a)熱管制作過(guò)程經(jīng)過(guò)燒結(jié)、退火獲得軟態(tài)的熱管;
b)在熱沉的底面開(kāi)凹槽,凹槽內(nèi)涂抹導(dǎo)熱膏,將熱管一端放置于凹槽內(nèi),另一端穿入若干個(gè)翅片上的通孔,并與通孔緊密配合;
c)采用預(yù)壓模具預(yù)壓成形置于凹槽內(nèi)的熱管段;
d)采用滾輪滾壓位于凹槽內(nèi)的經(jīng)過(guò)預(yù)壓成形后的熱管段;
e)研磨熱沉的底面,使熱管滾壓段與熱沉的底面齊平。
7.按照權(quán)利要求6所述的熱管嵌入式散熱裝置的制造方法,其特征在于:熱管采用純銅管,燒結(jié)溫度為940℃,在氮?dú)夂蜌錃獗Wo(hù)下燒結(jié)3h,退火溫度為600℃,在氮?dú)夂蜌錃獗Wo(hù)下退火4h,壓力0.03-0.06Mpa。
8.按照權(quán)利要求7所述的熱管嵌入式散熱裝置的其制造方法,其特征在于:熱管的直徑為D,凹槽的深度為H,熱管的周長(zhǎng)為L(zhǎng)1,凹槽的周長(zhǎng)為L(zhǎng)2,凹槽的槽口寬度為B,凹槽的最寬處的寬度為A,放置于凹槽內(nèi)的熱管,預(yù)壓之前,D>H≥2/3D,L1≤L2+B≤L1+0.3mm,2/3D<B<A。
9.按照權(quán)利要求8所述的熱管嵌入式散熱裝置的制造方法,其特征在于:預(yù)壓模具與熱管接觸位置設(shè)有圓柱面形狀的凹部,凹部的深度為h,凹部的開(kāi)口處的寬度為C,h=1/3(D-H),C≥B。
10.按照權(quán)利要求6所述的熱管嵌入式散熱裝置的制造方法,其特征在于:滾輪滾壓熱管時(shí)的直線運(yùn)動(dòng)速度為v,v≤80mm/s。
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