[發明專利]一種回轉體活鈍交替電化學機械高效拋光加工方法及裝置

有效

• 申請號: 201711115996.0
• 申請日: 2017-11-13
• 公開（公告）號: CN107891203B
• 公開（公告）日: 2019-02-19
• 發明（設計）人: 王祥志;張田;干為民;肖華星;徐夢廓;江煒;黃亮;徐波
• 申請（專利權）人: 常州工學院
• 主分類號: B23H5/08
• 分類號: B23H5/08
• 代理公司: 南京知識律師事務所 32207
• 代理人: 高桂珍

1.一種回轉體活鈍交替電化學機械高效拋光加工方法，其特征在于：包括以下步驟：

a、構建活鈍交替拋光加工系統：構建活性電解液電解單元和鈍性電解液電解單元，將活性電解液電解單元和鈍性電解液電解單元布置在回轉體工件的外圍，以便向工件噴射活性電解液和鈍性電解液，并在每個活性電解液電解單元與鈍性電解液電解單元之間設置機械光整機構；

b、轉動工件，進行拋光加工，該拋光加工包括以下分步驟：

b-1、工件與鈍性電解液電解單元中的鈍性電解液接觸，在鈍性電解液的作用下生成鈍化層，對工件表面進行保護，使工件表面低凹部分的溶解得到抑制；

b-2、由機械光整機構將工件表面高凸部分的鈍化層刮除，露出新的表面；

b-3、新的表面與活性電解液電解單元中的活性電解液接觸，在電化學溶解的作用下溶解蝕除；

b-4、重復進行上述步驟b-1至b-3，直至工件表面達到加工要求。

2.根據權利要求1所述的一種回轉體活鈍交替電化學機械高效拋光加工方法，其特征在于：所述的活性電解液和鈍性電解液均為一種組分或者多種組分組合。

3.根據權利要求1所述的一種回轉體活鈍交替電化學機械高效拋光加工方法，其特征在于：每個電解單元設有獨立的電解液循環系統，用以控制電解液進行循環流動工作，并控制電解液的流速。

4.根據權利要求3所述的一種回轉體活鈍交替電化學機械高效拋光加工方法，其特征在于：每個電解單元還獨立設置有電解液濃度、溫度控制系統，以實現對電解液濃度和溫度參數的控制。

5.一種回轉體活鈍交替電化學機械高效拋光加工裝置，包括電源(1)、工件(2)和陰極工件，所述的工件(2)與電源(1)的正極連接，所述的陰極工件與電源(1)的負極連接，其特征在于：還包括機械光整機構和多個用于為工件(2)提供電解液的電解單元，所述的電解單元包括用于加速溶解蝕除工件(2)表層的活性電解液電解單元(4)和用于生成鈍化膜從而保護工件(2)的鈍性電解液電解單元(5)，所述的機械光整機構包括由彈性接觸輔助裝置驅動的磨頭(3)，用以與工件(2)產生相對接觸摩擦從而刮除工件(2)表面高凸部分的鈍化層。

6.根據權利要求5所述的一種回轉體活鈍交替電化學機械高效拋光加工裝置，其特征在于：每個所述的電解單元均設有獨立的電解液循環與參數控制系統，用以控制電解液進行循環流動工作，并控制電解液的流速。

7.根據權利要求6所述的一種回轉體活鈍交替電化學機械高效拋光加工裝置，其特征在于：每個所述的電解單元還獨立設置有電解液濃度、溫度控制系統，用以控制電解液濃度和溫度參數。

8.根據權利要求5所述的一種回轉體活鈍交替電化學機械高效拋光加工裝置，其特征在于：所述的活性電解液電解單元(4)和鈍性電解液電解單元(5)相間分布在工件(2)的外圍，所述的機械光整機構設于每個活性電解液電解單元(4)和鈍性電解液電解單元(5)之間。