[發(fā)明專利]MEMS感測(cè)元件和導(dǎo)線接合部的密封

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711115978.2
• 申請(qǐng)日: 2017-11-13
• 公開（公告）號(hào): CN108072483B
• 公開（公告）日: 2021-11-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 弗蘭克·莫辛克;洛倫佐·賴卡
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 森薩塔科技公司
• 主分類號(hào): G01L19/06
• 分類號(hào): G01L19/06
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 王小衡;楊生平

1.一種MEMS傳感器(100)，包括：

外殼(102)，限定與用于感測(cè)的環(huán)境流體連通的內(nèi)部(104)和入口；

感測(cè)沖模(116)，被耦合到所述外殼(102)以用于基于所述環(huán)境生成信號(hào)；以及

密封劑(124)，被施加到所述感測(cè)沖模(116)以保護(hù)所述感測(cè)沖模(116)而不干擾所述感測(cè)沖模(116)的操作，其特征在于，所述密封劑(124)是包含有機(jī)物質(zhì)的非交聯(lián)分散體和無機(jī)二氧化硅增稠劑的組合物，

其中所述傳感器是壓力傳感器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS傳感器，其中所述密封劑(124)有至少2％重量的二氧化硅增稠劑。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS傳感器，其中所述密封劑(124)是二氧化硅增稠的全氟聚醚油。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS傳感器，其中所述密封劑(124)包括K型全氟聚醚油、以及疏水性二氧化硅和親水性二氧化硅的混合物，在所述密封劑(124)中二氧化硅的重量百分比為至少2％。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS傳感器，其中所述二氧化硅增稠劑是疏水性二氧化硅和親水性二氧化硅的混合物。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的MEMS傳感器，其中在所述疏水性二氧化硅和親水性二氧化硅的混合物中疏水性二氧化硅的量大于等于70％且小于100％。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS傳感器，其中所述二氧化硅增稠劑是100％的疏水性二氧化硅。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的MEMS傳感器，其中在所述疏水性二氧化硅和親水性二氧化硅的混合物中疏水性二氧化硅和親水性二氧化硅以50:50的比例存在。

9.一種制造MEMS傳感器100的方法，包括以下步驟：

提供限定了與用于感測(cè)的環(huán)境流體連通的內(nèi)部(104)和入口的外殼(102)；

提供被耦合到所述外殼(102)以用于基于所述環(huán)境生成信號(hào)的感測(cè)沖模(116)；

將密封劑(124)施加到所述感測(cè)沖模(116)以保護(hù)所述感測(cè)沖模(116)而不干擾所述感測(cè)沖模(116)的操作，其特征在于，所述密封劑(124)是包含有機(jī)物質(zhì)的非交聯(lián)分散體和無機(jī)二氧化硅增稠劑的組合物，

其中所述傳感器是壓力傳感器。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，還包括通過使用二氧化硅微粒將全氟聚醚油增稠成半固體來制造密封劑的步驟。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述密封劑(124)有至少2％重量的二氧化硅增稠劑。

12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述密封劑(124)是二氧化硅增稠的全氟聚醚油。

13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述密封劑(124)包括K型全氟聚醚油、以及疏水性二氧化硅和親水性二氧化硅的混合物，在所述密封劑(124)中二氧化硅的重量百分比為至少2％。