[發明專利]一種自動檢知泵內漏水的偵測系統在審
| 申請號： | 201711115956.6 | 申請日： | 2017-11-13 |
| 公開（公告）號： | CN107905991A | 公開（公告）日： | 2018-04-13 |
| 發明（設計）人： | 顧穎豪;袁海嶺 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | F04B51/00 | 分類號： | F04B51/00;F04B49/02;F04B49/10 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所31272 | 代理人： | 俞滌炯 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 自動 檢知泵內 漏水 偵測 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種自動檢知泵內漏水的偵測系統，適用于真空泵裝置，其特征在于，包括：
漏水檢知線，鋪設于所述真空泵內的蓄水槽內，用于檢測真空泵內的橡膠冷卻管是否會有水滴流出；
真空泵控制器，連接所述漏水檢知線，用于將接受收到的信號進行處理并且輸出預警信號，反饋至所述真空泵機臺。
2.根據權利要求1所述的偵測系統，其特征在于，所述漏水檢知線鋪設于所述真空泵內的蓄水槽的四周。
3.根據權利要求2所述的偵測系統，其特征在于，所述真空泵內的蓄水槽的四周貼著邊緣進行布線。
4.根據權利要求1所述的偵測系統，其特征在于，所述真空泵控制器設置第一端口。
5.根據權利要求4所述的偵測系統，其特征在于，所述第一端口為數字信號端口，所述漏水檢知線電連接所述第一端口。
6.根據權利要求4所述的偵測系統，其特征在于，所述第一端口的功能設置為啟動狀態。
7.根據權利要求6所述的偵測系統，其特征在于，所述啟動狀態將所述第一端口從斷開狀態變為閉合狀態，并輸出預警信號。
8.一種真空泵裝置，其特征在于，包括如權利要求1-7中任一所述的偵測系統。
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