[發(fā)明專(zhuān)利]用于改善銅片預(yù)氧化時(shí)表面氧化均勻的治具的制備和使用方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711115055.7
• 申請(qǐng)日: 2017-11-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108155102B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-10-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 祝林;賀賢漢;戴洪興
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海申和熱磁電子有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/48
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/48;C23C8/12
• 代理公司: 上海順華專(zhuān)利代理有限責(zé)任公司 31203
• 代理人: 顧雯

1.一種治具在銅片預(yù)氧化工藝中的使用方法，其特征在于：具體如下：銅片預(yù)氧化時(shí)，將銅片前后端放在傳送帶上兩個(gè)陶瓷支架上，銅片燒結(jié)面朝下，將兩個(gè)L形擋板治具分別放在傳送帶上緊靠銅片左右兩側(cè)面，L形擋板治具的90度夾角背向銅片放置，氧氣從爐膛底部排氣孔通入，進(jìn)行銅片預(yù)氧化工藝；

所述治具的制備方法如下：

步驟一、在陶瓷正反面覆上銅箔；

步驟二、用激光切割機(jī)將步驟一中得到的工件切成預(yù)定的尺寸，同時(shí)在工件正面中間切一刀，切縫深度30％～50％陶瓷厚度；

步驟三、沿著中間切縫反方向?qū)⒐ぜ鄢?0度，呈L形狀即得到用于改善銅片預(yù)氧化時(shí)表面氧化均勻的治具。