[發明專利]一種晶片清洗及干燥用花籃裝置

在審

• 申請號: 201711111193.8
• 申請日: 2017-11-13
• 公開（公告）號: CN108172536A
• 公開（公告）日: 2018-06-15
• 發明（設計）人: 胡夢媛
• 申請（專利權）人: 蘇州長光華芯光電技術有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01S5/02
• 代理公司: 蘇州國誠專利代理有限公司 32293
• 代理人: 溫建洲

1.一種晶片清洗及干燥用花籃裝置，包括：花籃外框(3)，在所述花籃外框(3)的內部設置多個相向設置的固定槽(31)，以上固定槽(31)與晶片夾持裝置相配合，其特征在于，所述晶片夾持裝置包括第一晶片夾持片(101)和第二晶片夾持片(102)，兩者之間夾有晶片(2)，所述第一晶片夾持片(101)的至少兩個面設置有凸起部，且以上第二晶片夾持片(102)被夾在以上凸起部內，由此兩個夾持片穩定無晃動。

2.根據權利要求1所述的晶片清洗及干燥用花籃裝置，其特征在于，所述花籃夾具內部為圓形，尺寸為三寸，外部為橢圓形。

3.根據權利要求1或2所述的晶片清洗及干燥用花籃裝置，其特征在于，晶片夾持裝置與花籃外框屬于面接觸。