[發(fā)明專利]衍射光學(xué)元件和干涉測(cè)量方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711103826.0
• 申請(qǐng)日: 2013-09-27
• 公開（公告）號(hào): CN107816939B
• 公開（公告）日: 2020-04-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: J.赫茨勒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 卡爾蔡司SMT有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): G01B9/02
• 分類號(hào): G01B9/02;G01M11/00;G01M11/02
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 張邦帥;邱軍

1.一種用于確定光學(xué)元件的光學(xué)表面的實(shí)際形狀與預(yù)期形狀的偏差的方法，包含以下步驟：

-產(chǎn)生輸入波；

-將衍射光學(xué)元件布置在所述輸入波的光束路徑中，使得通過與所述衍射光學(xué)元件的相互作用將所述輸入波轉(zhuǎn)換為至少測(cè)量波，所述測(cè)量波適配于所述光學(xué)表面的預(yù)期形狀，并且在衍射光學(xué)元件處以Littrow反射從輸入波產(chǎn)生參考波；

-將所述光學(xué)表面布置在適配的測(cè)量波的光束路徑中，并且使用參考波作為參考通過干涉測(cè)量在與所述光學(xué)表面相互作用之后測(cè)量所適配的測(cè)量波的波前。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，

其中，所述輸入波通過與所述衍射光學(xué)元件的相互作用還被轉(zhuǎn)換為至少一個(gè)校準(zhǔn)波。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2的方法，

其中，所述衍射光學(xué)元件包含復(fù)雜編碼的位相光柵。

4.一種衍射光學(xué)元件，具有基板和布置在其上的衍射結(jié)構(gòu)圖案，其中，所述衍射結(jié)構(gòu)圖案構(gòu)造為將輻射至其上的平面或球面輸入波轉(zhuǎn)換為至少非球面輸出波，所述非球面輸出波適配于要測(cè)量的光學(xué)表面的預(yù)期形狀，所述衍射結(jié)構(gòu)還構(gòu)造為以Littrow反射從輸入波產(chǎn)生參考波，所述參考波構(gòu)造成用作參考，以通過干涉測(cè)量在與光學(xué)表面相互作用之后測(cè)量非球面輸出波的波前。

5.如權(quán)利要求4所述的衍射光學(xué)元件，構(gòu)造為將輸出波還轉(zhuǎn)換為平面波或球面波形式的至少一個(gè)校準(zhǔn)波。

6.一種用于確定光學(xué)元件的光學(xué)表面的實(shí)際形狀與預(yù)期形狀的偏差的干涉測(cè)量系統(tǒng)，包括：

-光源，用于產(chǎn)生輸入波；

-衍射光學(xué)元件，布置在所述輸入波的光束路徑中，使得通過與所述衍射光學(xué)元件的相互作用將所述輸入波轉(zhuǎn)換為至少測(cè)量波，所述測(cè)量波適配于所述光學(xué)表面的預(yù)期形狀，并且在衍射光學(xué)元件處以Littrow反射從輸入波產(chǎn)生參考波；以及

-干涉儀，用于使用參考波作為參考在與所述光學(xué)表面相互作用之后測(cè)量所適配的測(cè)量波的波前。