[發明專利]基于諧振腔增強波導傳輸的高效波片有效
| 申請號： | 201711103664.0 | 申請日： | 2017-11-10 |
| 公開（公告）號： | CN107765359B | 公開（公告）日： | 2020-04-21 |
| 發明（設計）人： | 韋欣;胡曉斌;李健;宋國峰 | 申請（專利權）人： | 中國科學院半導體研究所 |
| 主分類號： | G02B5/30 | 分類號： | G02B5/30 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 喻穎 |
| 地址： | 100083 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 諧振腔 增強 波導 傳輸 高效 | ||
1.一種基于諧振腔增強波導傳輸的高效波片，其特征在于，包括：
介質襯底；
一維周期性金屬-介質-金屬波導層，設置于所述介質襯底上；
介質包覆層，設置于所述一維周期性金屬-介質-金屬波導層上；
其中，
所述一維周期性金屬-介質-金屬波導層由交替排列的金屬矩形條帶與介質矩形條帶構成；
相鄰的所述金屬矩形條帶與位于相鄰的所述金屬矩形條帶之間的介質矩形條帶構成金屬-介質-金屬波導，所述金屬-介質-金屬波導在工作波段內同時支持TE模式與TM模式的光傳輸；
所述介質襯底與介質包覆層以及位于其間的波導層共同形成法布里珀羅諧振腔。
2.根據權利要求1所述的一種基于諧振腔增強波導傳輸的高效波片，其特征在于，入射光被散射耦合到所述金屬-介質-金屬波導中沿波導厚度方向以波導模式傳輸。
3.根據權利要求1所述的一種基于諧振腔增強波導傳輸的高效波片，其特征在于，所述金屬矩形條帶和介質矩形條帶的寬度和厚度均在亞波長量級。
4.根據權利要求1所述的一種基于諧振腔增強波導傳輸的高效波片，其特征在于，所述基于諧振腔增強波導傳輸的高效波片工作波長范圍為可見光到微波波段；
所述介質襯底、介質矩形條帶和介質包覆層的材料為該波片工作波段內無吸收的介質；
所述金屬矩形條帶的材料為金、銀、銅或鋁。
5.根據權利要求1所述的一種基于諧振腔增強波導傳輸的高效波片，其特征在于，所述基于諧振腔增強波導傳輸的高效波片為四分之一波片或者半波片。
6.根據權利要求5所述的一種基于諧振腔增強波導傳輸的高效波片，其特征在于，所述介質襯底、介質矩形條帶以及介質包覆層材料均為石英，所述金屬矩形條帶的材料為銀，所述一維周期性金屬-介質-金屬波導層的厚度為600nm，所述介質矩形條帶寬度為650nm，所述金屬矩形條帶寬度為150nm。
7.根據權利要求5所述的一種基于諧振腔增強波導傳輸的高效波片，其特征在于，所述介質襯底、介質矩形條帶以及介質包覆層材料均為石英，所述金屬矩形條帶的材料為銀，所述一維周期性金屬-介質-金屬波導層的厚度為1500nm，所述介質矩形條帶寬度為650nm，所述金屬矩形條帶寬度為150nm。
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