[發(fā)明專(zhuān)利]一種針對(duì)單個(gè)納米顆粒的檢測(cè)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711099225.7
• 申請(qǐng)日: 2017-11-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108051362B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-10-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 江麗雯;路鑫超;孫旭晴;劉虹遙;熊偉;諶雅琴;張朝前
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所
• 主分類(lèi)號(hào): G01N15/14
• 分類(lèi)號(hào): G01N15/14
• 代理公司: 北京華沛德權(quán)律師事務(wù)所 11302
• 代理人: 房德權(quán)

1.一種針對(duì)單個(gè)納米顆粒的檢測(cè)方法，其特征在于，所述檢測(cè)方法包括如下步驟：

在蓋玻片上附著單個(gè)納米顆粒；

光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)線(xiàn)偏振器擴(kuò)束整形、聚焦后，經(jīng)薄膜分束器反射到油浸物鏡的后焦平面；

調(diào)節(jié)入射光在所述油浸物鏡的后焦平面上的位置，使入射光斜入射到所述蓋玻片上，在所述蓋玻片表面產(chǎn)生沿表面?zhèn)鞑ァ?qiáng)度在豎直方向上呈指數(shù)衰減的倏逝波；所述倏逝波遇到所述單個(gè)納米顆粒發(fā)生散射，其中一部分散射到空間中呈立體角分布，另一部分沿所述蓋玻片表面?zhèn)鞑ギa(chǎn)生徑向界面散射；

通過(guò)CCD收集所述界面散射的信號(hào)和所述蓋玻片上的反射光，并通過(guò)所述CCD對(duì)所述單個(gè)納米顆粒進(jìn)行成像；

其中，所述通過(guò)CCD收集所述界面散射的信號(hào)和所述蓋玻片上的反射光，并通過(guò)所述CCD對(duì)所述單個(gè)納米顆粒進(jìn)行成像，包括如下步驟：

通過(guò)所述CCD收集所述界面散射的信號(hào)和所述蓋玻片上的反射光，所述CCD測(cè)量所述蓋玻片上有單個(gè)納米顆粒的反射光作為當(dāng)前光斑；

采用所述CCD測(cè)量所述蓋玻片上無(wú)任何單個(gè)納米顆粒的反射光作為背景光斑；

將所述背景光斑與所述當(dāng)前光斑相減，進(jìn)行數(shù)據(jù)平均降噪處理，除去光斑的背景噪聲及所述CCD的噪聲，增強(qiáng)散射場(chǎng)與背景的對(duì)比度，優(yōu)化成像效果；

所述入射光線(xiàn)在蓋玻片表面發(fā)生界面散射和全內(nèi)反射；

其中，沿所述蓋玻片表面?zhèn)鞑サ慕缑嫔⑸渑c所述倏逝波發(fā)生干涉，在所述蓋玻片表面產(chǎn)生明暗相間的條紋，且呈同心拋物線(xiàn)形狀。

2.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)方法，其特征在于，所述單個(gè)納米顆粒為病毒、納米顆粒、碳納米管、量子點(diǎn)中的一種或多種。

3.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)方法，其特征在于，所述光源為激光器，所述光源的波長(zhǎng)為633nm。

4.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)方法，其特征在于，所述油浸物鏡的數(shù)值孔徑為1.7。

5.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)方法，其特征在于，所述蓋玻片為的折射率為1.78。