[發明專利]一種磁控濺射靶材用鋁釹合金的制造方法

在審

• 申請號: 201711096566.9
• 申請日: 2017-11-09
• 公開（公告）號: CN107619972A
• 公開（公告）日: 2018-01-23
• 發明（設計）人: 吳本明;文宏福
• 申請（專利權）人: 韶關市歐萊高新材料有限公司
• 主分類號: C22C21/00
• 分類號: C22C21/00;C22C1/03;C23C14/34
• 代理公司: 廣州駿思知識產權代理有限公司44425
• 代理人: 吳靜芝

1.一種磁控濺射靶材用鋁釹合金的制造方法，其特征在于：包括以下步驟：

S1：將鋁原料和釹原料裝入熔煉爐內，進行加熱熔化、精煉、澆鑄，制得鋁釹中間合金；具體包括：選取純度大于99％的高純鋁和高純釹作為原料，按照鋁成分和釹成分的重量比為65∶35進行稱量配料；裝料前，先將熔煉爐內的爐膛、坩堝清理干凈，并將坩堝預熱至300℃；將鋁裝入坩堝內，抽真空，升功率，待鋁熔化后，緩緩加入直徑小于0.2mm的釹顆粒，待釹熔化后，在1000℃下保溫35min，真空度保持在0.1-0.2Pa，頻率保持在2000Hz；熔化完成后，攪拌熔化后的金屬液，使合金充分混合，并除氣、除渣，待液面凈化后，降溫至900℃，靜置20min；凈化完成后，繼續大功率攪拌3次，然后澆鑄；澆鑄完成后，5min破真空，出爐得到鋁釹中間合金；

S2：將步驟S1所得鋁釹中間合金添加到鋁原料中，裝入熔煉爐內，進行加熱熔化、精煉、澆鑄，制得鋁釹合金；具體包括：選取純度大于99％的高純鋁以及S1所得鋁釹中間合金作為原料，鋁釹中間合金與鋁原料的重量比為5～80∶100；裝料前，先將熔煉爐內的爐膛、坩堝清理干凈，并將坩堝預熱至300℃；將鋁裝入坩堝內，抽真空，升功率，待鋁熔化后，加入鋁釹中間合金，待鋁釹中間合金熔化后，在1000℃下保溫35min，真空度保持在0.1-0.2Pa，頻率保持在2000Hz；熔化完成后，攪拌熔化后的金屬液，使合金充分混合，并除氣、除渣，待液面凈化后，降溫至900℃，靜置20min；凈化完成后，繼續大功率攪拌3次，然后澆鑄；澆鑄完成后，5min破真空，出爐得到鋁釹合金。