[發明專利]一種酸性蝕刻液及其制備方法在審
| 申請號： | 201711095558.2 | 申請日： | 2017-11-09 |
| 公開（公告）號： | CN107604361A | 公開（公告）日： | 2018-01-19 |
| 發明（設計）人： | 譚奇亮;余欣榮;蒙昌才;詹校東;蒙筱青 | 申請（專利權）人： | 佛山市華希盛化工有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/18 | 分類號： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 北京律遠專利代理事務所(普通合伙)11574 | 代理人： | 丁清鵬 |
| 地址： | 528518 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 酸性 蝕刻 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種酸性蝕刻液，其特征在于，包括下述組分：氯酸鈉、精鹽、氯化銨、鹽酸和添加劑；
其中：所述添加劑為脲類。
2.根據權利要求1所述的酸性蝕刻液，其特征在于，所述脲類為尿素、硫脲或雙硫脲中的一種或幾種。
3.根據權利要求1所述的酸性蝕刻液，其特征在于，氯酸鈉的用量為200-250重量份，精鹽的用量為95-170重量份，氯化銨用量為30-40重量份，添加劑用量為12-15重量份，鹽酸用量小于10重量份。
4.根據權利要求1所述的酸性蝕刻液，其特征在于，所述酸性蝕刻液的比重為1.25-1.35，pH值為6-9，氯離子含量為220-280g/L。使用時控制銅離子含量為140-170g/L，氧化還原電位為500-550mV。
5.根據權利要求4所述的酸性蝕刻液，其特征在于：所述酸性蝕刻液的比重為1.30，氯離子含量為240g/L，銅離子含量為155g/L，氧化還原電位為525mV為最佳條件。
6.一種制備酸性蝕刻液的方法，其特征在于，包括下述步驟：打開反應裝置入孔蓋，將氯酸鈉、精鹽、氯化銨和添加劑加入反應裝置中，然后加入水，攪拌至物料溶解；再加入鹽酸，加水至設定量，攪拌均勻，得到酸性蝕刻液。
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