[發明專利]一種晶硅太陽能電池SiO2鈍化工序用雙噴淋裝置在審

申請號：	201711095209.0	申請日：	2017-11-09
公開（公告）號：	CN107799629A	公開（公告）日：	2018-03-13
發明（設計）人：	楊永平;陳陽泉;錢金梁;孫光輝	申請（專利權）人：	潤峰電力有限公司
主分類號：	H01L31/18	分類號：	H01L31/18
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	272000 山東省***	國省代碼：	山東;37
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種太陽能電池 sio2 鈍化工序噴淋裝置
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【權利要求書】：

1.一種晶硅太陽能電池SiO₂鈍化工序用雙噴淋裝置，包括待處理的電池片、位于電池片上方的噴淋裝置及抽氣裝置，其特征在于所述噴淋裝置為兩組呈相對設置的噴淋裝置，所述電池片置于兩組噴淋裝置之間，所述兩組噴淋裝置的兩側端均設置有抽氣裝置，在兩組噴淋裝置及四組抽氣裝置運行狀態下，抽氣裝置對噴淋裝置所噴淋的氣體進行干擾，分別在電池片上方及電池片下方形成氣氛區，從而對電池片雙面進行有效鈍化。

2.根據權利要求1所述的一種晶硅太陽能電池SiO₂鈍化工序用雙噴淋裝置，其特征在于所述噴淋裝置包括殼體、位于殼體上方的鈍化氣體進氣孔及位于殼體下方的噴淋板。

3.根據權利要求2所述的一種晶硅太陽能電池SiO₂鈍化工序用雙噴淋裝置，其特征在于所述殼體內設置有氣體勻流板。

4.根據權利要求2所述的一種晶硅太陽能電池SiO₂鈍化工序用雙噴淋裝置，其特征在于所述鈍化氣體為臭氧（O3）等強氧化性氣體。

5.根據權利要求1所述的一種晶硅太陽能電池SiO2鈍化工序用雙噴淋裝置，其特征在于所述抽氣裝置包括抽氣孔及排氣孔，所述抽氣孔與噴淋裝置的兩側端。

6.根據權利要求5所述的一種晶硅太陽能電池SiO₂鈍化工序用雙噴淋裝置，其特征在于其中一組噴淋裝置兩側端的抽氣孔與另一組噴淋裝置兩側端的抽氣孔相對設置。

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