[發(fā)明專利]一種藥液添加系統(tǒng)及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711095062.5
• 申請日: 2017-11-09
• 公開（公告）號: CN107968134B
• 公開（公告）日: 2020-08-11
• 發(fā)明（設計）人: 左國軍;夏展
• 申請（專利權）人: 常州捷佳創(chuàng)精密機械有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/67
• 代理公司: 深圳市康弘知識產(chǎn)權代理有限公司 44247
• 代理人: 尹彥;胡朝陽

1.一種藥液添加系統(tǒng)，包括一個儲液罐，其特征在于，該藥液添加系統(tǒng)還包括一個線性傳感器、一個人機交互模塊及一個控制器；該儲液罐包括出液閥；該出液閥用于控制該儲液罐內的藥液流入一個反應槽內；該傳感器用于感測該儲液罐內藥液的液位；該人機交互模塊用于將用戶輸入的數(shù)據(jù)傳遞給該控制器；該人機交互模塊還用于基于用戶操作選擇添加方式及添加模式；該添加方式包括手動添加及自動添加，該添加模式包括定量添加及動態(tài)添加；該控制器用于根據(jù)該傳感器所感測的數(shù)據(jù)計算該儲液罐內藥液的體積，從而計算出該儲液罐的出液量；該控制器還用于根據(jù)該人機交互模塊設置的數(shù)據(jù)向該反應槽內添加藥液；該控制器還用于存儲產(chǎn)品的生產(chǎn)批次；

自動添加時，若為定量添加，所述人機交互模塊基于用戶操作設置固定間隔批次及固定添加量，所述控制器根據(jù)該固定間隔批次及該固定添加量自動開啟該出液閥進行藥液添加，添加完畢后自動關閉該出液閥；若為動態(tài)添加，所述人機交互模塊基于用戶操作設置動態(tài)批次區(qū)間、動態(tài)間隔批次及動態(tài)添加量，所述控制器根據(jù)該動態(tài)批次區(qū)間、該動態(tài)間隔批次及該動態(tài)添加量，自動開啟該出液閥進行藥液添加，添加完畢后自動關閉該出液閥。

2.如權利要求1所述的藥液添加系統(tǒng)，其特征在于，該控制器還用于記錄并存儲藥液添加過程中的數(shù)據(jù)，統(tǒng)計出各時間段內的藥液消耗量；該人機交互模塊還用于顯示該控制器所得的數(shù)據(jù)。

3.如權利要求1所述的藥液添加系統(tǒng)，其特征在于，該控制器還用于檢測該儲液罐是否能正常出液。

4.如權利要求1所述的藥液添加系統(tǒng)，其特征在于，該儲液罐還包括進液閥，該進液閥用于控制一外圍供液系統(tǒng)的藥液流入該儲液罐內；該控制器還用于根據(jù)該傳感器所感測的數(shù)據(jù)計算出該儲液罐的進液量；該控制器還用于檢測該儲液罐是否能正常進液。

5.如權利要求4所述的藥液添加系統(tǒng)，其特征在于，該控制器還用于當該儲液罐不能正常進液時，最大限度地保證該反應槽內藥液的正常供給。

6.如權利要求1所述的藥液添加系統(tǒng)，其特征在于，該控制器還用于檢測該傳感器是否損壞。

7.一種藥液添加方法，其特征在于，其包括如下步驟：提供一儲液罐、一線性傳感器及一控制器，該儲液罐存儲一產(chǎn)品加工時所使用的藥液，且包括出液閥，該傳感器感測該儲液罐內藥液的液位，該控制器根據(jù)該傳感器所感測的數(shù)據(jù)計算該儲液罐的出液量，還存儲產(chǎn)品的生產(chǎn)批次；一人機交互模塊基于用戶操作選擇添加方式，該添加方式包括手動添加及自動添加；若選擇手動添加，則用戶手動開啟該出液閥，使得該儲液罐內的藥液流入一個反應槽內；若選擇自動添加，則需繼續(xù)在該人機交互模塊上選擇添加模式，該添加模式包括定量添加及動態(tài)添加；該控制器根據(jù)所選擇的添加模式自動開啟該出液閥，使得該儲液罐內的藥液流入該反應槽內；

若選擇定量添加，則該人機交互模塊基于用戶操作設置固定間隔批次及固定添加量，該控制器根據(jù)該固定間隔批次及該固定添加量自動開啟該出液閥進行藥液添加，當添加完畢后自動關閉該出液閥；若選擇動態(tài)添加，則該人機交互模塊基于用戶操作設置動態(tài)批次區(qū)間、動態(tài)間隔批次及動態(tài)添加量，該控制器根據(jù)該動態(tài)批次區(qū)間、該動態(tài)間隔批次及該動態(tài)添加量自動開啟該出液閥進行藥液添加，當添加完畢后自動關閉該出液閥。

8.如權利要求7所述的藥液添加方法，其特征在于，還包括如下步驟：該控制器記錄并存儲藥液添加過程中的數(shù)據(jù)，統(tǒng)計出各時間段內的藥液消耗量；及該人機交互模塊顯示該控制器所得的數(shù)據(jù)。

9.如權利要求7所述的藥液添加方法，其特征在于，還包括如下步驟：該控制器檢測該儲液罐是否能正常出液。

10.如權利要求7所述的藥液添加方法，其特征在于，該儲液罐還包括進液閥，該進液閥用于控制一外圍供液系統(tǒng)的藥液流入該儲液罐內；該控制器還用于根據(jù)該傳感器所感測的數(shù)據(jù)計算出該儲液罐的進液量；該藥液添加方法還包括如下步驟：該控制器檢測該儲液罐是否能正常進液。