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[發(fā)明專(zhuān)利]一種多區(qū)域探測(cè)掃描變像管有效

專(zhuān)利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201711095055.5 申請(qǐng)日: 2017-11-09
公開(kāi)(公告)號(hào): CN107706075B 公開(kāi)(公告)日: 2023-09-19
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 李晉;劉慎業(yè);李青芝;楊志文;胡昕;鄧克立;陳韜;黎宇坤 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: 中國(guó)工程物理研究院激光聚變研究中心
主分類(lèi)號(hào): H01J31/12 分類(lèi)號(hào): H01J31/12;H01J29/70
代理公司: 中國(guó)工程物理研究院專(zhuān)利中心 51210 代理人: 翟長(zhǎng)明;韓志英
地址: 621999 四*** 國(guó)省代碼: 四川;51
權(quán)利要求書(shū): 查看更多 說(shuō)明書(shū): 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 區(qū)域 探測(cè) 掃描 變像管
【權(quán)利要求書(shū)】:

1.一種多區(qū)域探測(cè)掃描變像管,其特征在于:所述掃描變像管包括沿軸向OZ順序排列的陰極(1)、柵網(wǎng)(2)、預(yù)偏陣列板I(3)、聚焦系統(tǒng)(4)、預(yù)偏陣列板II(5)、隔離網(wǎng)(6)、掃描板(7)和熒光屏(8);

所述的陰極(1)上從上到下設(shè)置有平行的N條狹縫(9);

所述的預(yù)偏陣列板I(3)從上到下包含有平行的N+1個(gè)平板,N+1個(gè)平板的方向與軸向OZ平行;所述的N+1個(gè)平板中每相鄰兩個(gè)平板形成一對(duì)偏轉(zhuǎn)板,共構(gòu)成N對(duì)偏轉(zhuǎn)板;每對(duì)偏轉(zhuǎn)板從上到下與每條狹縫(9)一一對(duì)應(yīng),并且每條狹縫(9)的中心位置位于相應(yīng)的每對(duì)偏轉(zhuǎn)板之間;所述的每對(duì)偏轉(zhuǎn)板上設(shè)置有不同電壓值的預(yù)偏電壓,從中心一對(duì)偏轉(zhuǎn)板往兩邊各對(duì)的偏轉(zhuǎn)板,預(yù)偏電壓逐漸增加;

所述的預(yù)偏陣列板II(5)從上到下包含有N+1個(gè)平板,所述的N+1個(gè)平板的每相鄰兩個(gè)平板形成一對(duì)偏轉(zhuǎn)板,共構(gòu)成N對(duì)偏轉(zhuǎn)板;所述的預(yù)偏陣列板II(5)的方向與軸向OZ有一旋轉(zhuǎn)角;每對(duì)偏轉(zhuǎn)板從上到下與每條狹縫(9)一一對(duì)應(yīng),并且每條狹縫(9)的中心位置位于相應(yīng)的每對(duì)偏轉(zhuǎn)板之間;?所述的每對(duì)偏轉(zhuǎn)板上設(shè)置有不同電壓值的預(yù)偏電壓,從中心一對(duì)偏轉(zhuǎn)板往兩邊各對(duì)的偏轉(zhuǎn)板,預(yù)偏電壓逐漸增加;

所述的聚焦系統(tǒng)(4)為短磁透鏡聚焦系統(tǒng);

所述的掃描板(7)方向與預(yù)偏陣列板II(5)的方向相同;所述的旋轉(zhuǎn)角的大小為聚焦系統(tǒng)(4)成像過(guò)程中使電子束旋轉(zhuǎn)的角度;所述的狹縫(9)的條數(shù)N≥2。

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