[發明專利]一種理療儀生產用晶圓清洗裝置

在審

• 申請號: 201711093967.9
• 申請日: 2017-11-08
• 公開（公告）號: CN107731719A
• 公開（公告）日: 2018-02-23
• 發明（設計）人: 林孝振
• 申請（專利權）人: 林孝振
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種理療儀生產用晶圓清洗裝置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）上表面的兩端均固定連接有支撐腿（2），所述底座（1）上表面的中部固定連接有電機（3），所述電機（3）的輸出軸固定連接有轉軸（4），所述轉軸（4）靠近電機（3）一端的表面固定連接有轉盤（5），所述轉盤（5）的外側固定連接有旋轉桿（6），所述旋轉桿（6）的頂端固定連接有清洗槽（7），所述轉軸（4）的表面固定連接有位于清洗槽（7）內部的連接桿（8），所述連接桿（8）的一端固定連接有清潔刷（9），所述轉軸（4）的表面固定連接有攪拌桿（10），所述攪拌桿（10）的頂部固定連接有攪拌槳（11），所述攪拌桿（10）的表面固定連接有攪拌葉（12），所述清洗槽（7）的頂部通過支撐桿固定連接有超聲波裝置（13），所述超聲波裝置（13）包括超聲波發生器（131），所述超聲波發生器（131）的輸出端固定連接有超聲波轉換器（132），所述超聲波轉換器（132）的輸出端固定連接有超聲波振子（133）。

2.根據權利要求1所述的一種理療儀生產用晶圓清洗裝置，其特征在于：所述支撐腿（2）的數量為兩個，且兩個支撐腿（2）通過軸承與清洗槽（7）的底部固定連接。

3.根據權利要求1所述的一種理療儀生產用晶圓清洗裝置，其特征在于：所述電機（3）的外側固定連接有位于底座（1）頂部的保護罩。

4.根據權利要求1所述的一種理療儀生產用晶圓清洗裝置，其特征在于：所述清潔刷（9）的數量為兩個，兩個清潔刷（9）分別設置在清洗槽（7）的內壁兩側。

5.根據權利要求1所述的一種理療儀生產用晶圓清洗裝置，其特征在于：所述攪拌桿（10）的數量為四個，四個攪拌桿（10）分別對稱設置在轉軸（4）的外側。

6.根據權利要求1所述的一種理療儀生產用晶圓清洗裝置，其特征在于：所述攪拌槳（11）的表面設置有毛刷，且攪拌槳（11）與攪拌葉（12）等間距間隔設置在攪拌桿（10）的表面。