[發明專利]固態影像裝置

有效

• 申請號: 201711093005.3
• 申請日: 2017-11-08
• 公開（公告）號: CN109003992B
• 公開（公告）日: 2020-09-04
• 發明（設計）人: 黃自維;林綺涵
• 申請（專利權）人: 采鈺科技股份有限公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 李昕巍;章侃銥

1.一種固態影像裝置，具有一感測區、一接墊區及一周邊區位于該感測區與該接墊區之間，該固態影像裝置包括：

一半導體基底；

多個光電轉換元件，設置于該半導體基底內且位于該感測區中；

一接合墊，設置于該半導體基底上且位于該接墊區中；

一微透鏡層，包含一微透鏡陣列及一第一虛設結構，設置于該半導體基底之上，其中該微透鏡陣列設置于該感測區中，該第一虛設結構設置于該接墊區中，且該第一虛設結構包含多個第一微透鏡元件設置成圍繞該接合墊的一區域；以及

一護膜，順應性地形成于該微透鏡層的一頂面上。

2.如權利要求1所述的固態影像裝置，其中所述第一微透鏡元件還設置于該接合墊的正上方，或者其中該第一虛設結構還包含一平坦部設置于該接合墊的正上方，且該護膜順應性地形成于該平坦部上。

3.如權利要求1所述的固態影像裝置，其中該微透鏡層還包含一第二虛設結構設置于該周邊區中，該第二虛設結構包含多個第二微透鏡元件，且該微透鏡陣列包含多個第三微透鏡元件。

4.如權利要求3所述的固態影像裝置，其中該微透鏡陣列的所述第三微透鏡元件中的每一個具有一第三微透鏡高度，該第二虛設結構的所述第二微透鏡元件中的每一個具有一第二微透鏡高度，且該第三微透鏡高度大于該第二微透鏡高度，以及該第一虛設結構的所述第一微透鏡元件中的每一個具有一第一微透鏡高度，且該第二微透鏡高度大于該第一微透鏡高度。

5.如權利要求3所述的固態影像裝置，其中所述第一微透鏡元件中的每一個具有一第一曲率半徑，所述第二微透鏡元件中的每一個具有一第二曲率半徑，且該第一曲率半徑大于該第二曲率半徑，以及該微透鏡陣列的所述第三微透鏡元件中的每一個具有一第三曲率半徑，且該第二曲率半徑大于該第三曲率半徑。

6.如權利要求3所述的固態影像裝置，其中該微透鏡陣列的頂端高于該第二虛設結構的頂端，且該第二虛設結構的頂端高于該第一虛設結構的頂端，以及該微透鏡陣列的所述第三微透鏡元件、該第二虛設結構的所述第二微透鏡元件及該第一虛設結構的所述第一微透鏡元件皆以相同的間距排列。

7.如權利要求1所述的固態影像裝置，其中該護膜為一化學氣相沉積膜，該化學氣相沉積膜的材料包含氧化硅、氮化硅、氮氧化硅或其組合，且該護膜連續地覆蓋該感測區、該周邊區及該接墊區。

8.如權利要求1所述的固態影像裝置，還包括：

一彩色濾光層，設置于該半導體基底與該微透鏡層之間；

一介電層，設置于該彩色濾光層與該半導體基底之間；以及

一開口，穿過該護膜、該微透鏡層、該彩色濾光層和該介電層，以暴露出該接合墊。

9.如權利要求8所述的固態影像裝置，還包括：

一遮光層，設置于該半導體基底上且位于該感測區和該周邊區中，其中該遮光層具有一邊緣對齊該周邊區與該接墊區之間的一邊界，該遮光層包括一金屬網格，且該金屬網格的每一個方格對應于該固態影像裝置的一個獨立像素；以及

一平坦化層，設置于該遮光層與該彩色濾光層之間，且該開口還穿過該平坦化層。

10.如權利要求1所述的固態影像裝置，其中該第一虛設結構還包含一平坦部設置于該接合墊的正上方，且延伸至該接合墊的該區域以外的一區域，直到該半導體基板的一邊緣，且該護膜順應性地形成于該平坦部上，且該固態影像裝置還包括一內連線層，設置于該半導體基底下方，或設置于該半導體基底與該接合墊之間，其中該接合墊電性連接至該內連線層。