[發明專利]用于吹掃氙燈的氮氣流量控制系統及方法在審
| 申請號： | 201711091238.X | 申請日： | 2017-11-08 |
| 公開（公告）號： | CN107943116A | 公開（公告）日： | 2018-04-20 |
| 發明（設計）人： | 吳建曉 | 申請（專利權）人： | 君泰創新（北京）科技有限公司 |
| 主分類號： | G05D7/06 | 分類號： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京維澳專利代理有限公司11252 | 代理人： | 周放,姜溯洲 |
| 地址： | 100176 北京市大興區北京經*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 氙燈 氮氣 流量 控制系統 方法 | ||
1.一種用于吹掃氙燈的氮氣流量控制系統，其特征在于，包括：
流量傳感器，用于檢測通入到芯片測試機中的氮氣流量；
氙燈；
流量控制閥，設置在所述氮氣的流通管路中，用于控制所述氮氣的流通管路通斷；
主控制器，分別與所述流量傳感器、所述氙燈和所述流量控制閥相連；
所述主控制器用于當所述氮氣流量低于設定的流量值時，向所述氙燈發出第一控制信號，以使所述氙燈關閉，并向所述流量控制閥發出第二控制信號，以使所述流量控制閥保持打開狀態；
所述主控制器還用于當所述氮氣流量大于或等于設定的流量值時，向所述氙燈發出第三控制信號，以使所述氙燈打開；所述主控制器還用于根據預設時間，向所述流量控制閥發出第四控制信號，以使所述流量控制閥關閉。
2.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，還包括：定時器，用于設定所述預設時間；所述預設時間為所述氮氣的通入時長，或，所述預設時間為所述氙燈打開后的時長。
3.根據權利要求2所述的系統，其特征在于，所述流量控制閥為電磁氣動閥。
4.一種用于吹掃氙燈的氮氣流量控制方法，其特征在于，包括：
檢測通入到芯片測試機中的氮氣流量；
當所述氮氣流量低于設定的流量值時，向所述氙燈發出第一控制信號，以使所述氙燈關閉，并向所述流量控制閥發出第二控制信號，以使所述流量控制閥保持打開狀態；
當所述氮氣流量大于或等于設定的流量值時，向所述氙燈發出第三控制信號，以使所述氙燈打開；根據預設時間，向所述流量控制閥發出第四控制信號，以使所述流量控制閥關閉。
5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，在檢測通入到芯片測試機中的氮氣流量之前，所述方法還包括：
啟動定時器，并向芯片測試機通入氮氣；
所述根據預設時間，向所述流量控制閥發出第四控制信號，以使所述流量控制閥關閉具體包括：
所述定時器啟動后到達設定的預設時間，向所述流量控制閥發出第四控制信號，以使所述流量控制閥關閉。
6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述預設時間為所述氮氣的通入時長，或，所述預設時間為所述氙燈打開后的時長。
7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，所述氙燈打開后的時長為5-7秒。
8.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，所述氙燈打開后的時長為6秒。
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