[發明專利]一種利用飛秒激光制備均勻、可控微透鏡結構的方法有效
| 申請號： | 201711088851.6 | 申請日： | 2017-11-08 |
| 公開（公告）號： | CN107738036B | 公開（公告）日： | 2019-03-12 |
| 發明（設計）人： | 王文君;李江;梅雪松;孫學峰;潘愛飛;崔健磊 | 申請（專利權）人： | 西安交通大學 |
| 主分類號： | B23K26/60 | 分類號： | B23K26/60;B23K26/0622;G02B3/00 |
| 代理公司： | 西安智大知識產權代理事務所 61215 | 代理人： | 賀建斌 |
| 地址： | 710049 陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 利用 激光 制備 均勻 可控 透鏡 結構 方法 | ||
1.一種利用飛秒激光制備均勻、可控微透鏡結構的方法，其特征在于，包括以下步驟：
1)將PMMA顆粒溶于甲苯，配制PMMA質量分數為15％-25％的溶液，涂敷在黑色亞克力板(2)上，固化得雙層加工樣片；雙層加工樣片上層的透明PMMA層(1)作為膨脹層材料；下層的黑色亞克力板(2)作為吸收層材料；
2)搭建光路，光路包括飛秒激光器(4)，飛秒激光器(4)輸出光經過第一反射鏡(5)使光路轉90°，反射光依次經過衰減片(6)、光圈(7)、半波片(8)、分光棱鏡(9)、快門(10)、第二反射鏡(11)、聚焦物鏡(12)垂直照射在移動載物臺(13)的加工工位上，飛秒激光器(4)、快門(10)、移動載物臺(13)和電腦(14)連接，利用半波片(8)和分光棱鏡(9)調節激光功率，同時電腦(14)通過快門(10)控制光路的通斷，采用聚焦物鏡(12)用于飛秒激光器(4)輸出激光的聚焦；
3)利用電腦(14)調節飛秒激光器(4)輸出激光，激光波長為800nm，重頻為1kHz，脈寬為120fs，脈沖數為1000-2500，激光功率為20-60mw，陣列間距400-600μm；
4)將步驟1)制備的雙層加工樣片固定在移動載物臺(13)加工工位上，調節移動載物臺(13)位置，使激光(3)聚焦于雙層加工樣片的黑色亞克力板(2)，制備微透鏡陣列。
2.根據權利要求1所述的一種利用飛秒激光制備均勻、可控微透鏡結構的方法，其特征在于：通過調節激光功率和陣列間距，能夠調節微透鏡陣列直徑和高度。
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