[發明專利]一種檢測晶圓放置狀態的方法及系統

在審

• 申請號: 201711083663.4
• 申請日: 2017-11-07
• 公開（公告）號: CN107860416A
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發明（設計）人: 王文舉;張繼靜
• 申請（專利權）人: 北京半導體專用設備研究所（中國電子科技集團公司第四十五研究所）
• 主分類號: G01D21/00
• 分類號: G01D21/00
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙)11371
• 代理人: 梁斌

1.一種檢測晶圓放置狀態的系統，其特征在于，該系統包括：光源發生器、光源接收器、晶圓以及光波接收透射器，其中，

光源發生器與光源接收器位于晶圓壁的兩側；

光源發生器輸出的光源照射到晶圓壁上；

光波接收透射器位于晶圓與光源接收器之間，用于接收光源發生器輸出的光源中未被晶圓遮擋的光源，對第一波長光源進行透射，過濾其它波長的光源；

光源接收器接收光波接收透射器透射的第一波長光源，獲取第一波長光源的光源強度，判斷獲取的光源強度是否小于預先設置的第一波長光源閾值；

若獲取的光源強度小于預先設置的第一波長光源閾值，確定晶圓放置狀態為水平放置，若獲取的光源強度不小于預先設置的第一波長光源閾值，確定晶圓放置狀態為傾斜放置或未放置晶圓。

2.如權利要求1所述的系統，其特征在于，所述光波接收透射器為濾波片，所述濾波片的形狀為矩形，矩形的長度小于或等于晶圓直徑，矩形的寬度小于或等于晶圓厚度，矩形的寬度方向與晶圓的厚度方向平行。

3.如權利要求1所述的系統，其特征在于，所述系統還包括：

光波輸出透射器，位于晶圓與光源發生器之間，用于接收光源發生器輸出的光源，對第一波長光源進行透射后照射到晶圓壁上，過濾其它波長的光源。

4.如權利要求3所述的系統，其特征在于，所述光波輸出透射器長度與光波接收透射器長度相同，寬度大于或等于光波接收透射器的寬度，小于晶圓厚度。

5.如權利要求1至4任一項所述的系統，其特征在于，所述系統還包括：

放大器，用于對光波接收透射器透射的第一波長光源進行放大處理后輸出至光源接收器。

6.如權利要求5所述的系統，其特征在于，所述系統還包括：

濾波器，用于對光波接收透射器透射的第一波長光源，或放大器輸出的光源進行濾波處理后輸出至光源接收器。

7.如權利要求1至4任一項所述的系統，其特征在于，所述光源發生器輸出的光源中心、光源接收器接收光源的中心、晶圓厚度方向的中心以及光波接收透射器透射光源的中心位于同一直線上。

8.如權利要求1至4任一項所述的系統，其特征在于，所述光源發生器為紅外光源發生器，光源接收器為紅外光源接收器，光波接收透射器為紅外光源濾波片，第一波長光源為紅外光源。

9.一種檢測晶圓放置狀態的方法，其特征在于，該方法包括：

控制輸出光源照射到晶圓壁上；

在晶圓壁的對側，驅動接收所述輸出光源中未被晶圓遮擋的光源，對第一波長光源進行透射，過濾其它波長的光源；

獲取透射的第一波長光源的光源強度，判斷獲取的光源強度是否小于預先設置的第一波長光源閾值；

若獲取的光源強度小于預先設置的第一波長光源閾值，確定晶圓放置狀態為水平放置，若獲取的光源強度不小于預先設置的第一波長光源閾值，確定晶圓放置狀態為傾斜放置或未放置晶圓。

10.如權利要求9所述的方法，其特征在于，所述若獲取的光源強度不小于預先設置的第一波長光源閾值，確定晶圓放置狀態為傾斜放置或未放置晶圓包括：

判斷獲取的光源強度是否小于預先設置的第一波長光源上限閾值，若獲取的光源強度小于所述第一波長光源上限閾值，確定晶圓放置狀態為傾斜放置，否則，確定未放置晶圓。