[發明專利]一種超高溫的電聲脈沖法空間電荷測量裝置

在審

• 申請號: 201711083209.9
• 申請日: 2017-11-07
• 公開（公告）號: CN107621578A
• 公開（公告）日: 2018-01-23
• 發明（設計）人: 何金良;李琦;胡軍;黨斌;周垚
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G01R29/24
• 分類號: G01R29/24
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙)11201
• 代理人: 羅文群

1.一種超高溫的電聲脈沖法空間電荷測量裝置，其特征在于包括環氧樹脂塊、直流金屬導電桿、脈沖金屬導電桿、上電極、半導電層、下電極、匹配電阻、高壓電容、溫度傳感器、加熱單元、壓電傳感器、聲波吸收層、地電極、放大器、屏蔽盒和金屬塊；所述的環氧樹脂塊通過法蘭與下電極相對固定，所述的直流金屬導電桿和脈沖金屬導電桿的下端分別通過直流絕緣套管和脈沖絕緣套管封裝在環氧樹脂塊中，所述的上電極置于直流金屬導電桿的下端部，并封裝在環氧樹脂塊中；所述的半導電層和待測樣品依次由上而下置于上電極的下端部；所述的匹配電阻與脈沖金屬導電桿連接；所述的高壓電容封裝在環氧樹脂塊中，高壓電容連接在直流金屬導電桿和脈沖金屬導電桿之間；所述的下電極置于待測樣品的下部，溫度傳感器與待測樣品相接觸；所述的加熱單元置于下電極的下部，所述的壓電傳感器與下電極相連，所述的聲波吸收層與壓電傳感器相連，所述的壓電傳感器和聲波吸收層的外面包裹有絕緣層，所述的地電極包裹在絕緣層外面；所述的屏蔽盒置于加熱單元的下部，所述的放大器置于屏蔽盒中，放大器的一端通過硬連接桿與壓電傳感器實現電氣連接，放大器的另一端為脈沖引出線，脈沖引出線伸出屏蔽盒；所述的金屬塊置于放大器的下部，放大器中設置有冷卻介質通道，冷卻介質通道的兩端分別與屏蔽盒外的冷卻介質進入通道和冷卻介質排出通道相連。

2.如權利要求1所述的測量裝置，其特征在于其中所述的壓電傳感器為居里溫度點大于160℃的聚偏氟乙烯，壓電傳感器的厚度小于或等于10μm。