[發明專利]一種表面沉積BN薄膜的氟碳鋁單板

有效

• 申請號: 201711080524.6
• 申請日: 2017-11-06
• 公開（公告）號: CN108004542B
• 公開（公告）日: 2020-03-06
• 發明（設計）人: 梅貞華
• 申請（專利權）人: 安徽福瑞爾鋁業科技有限公司
• 主分類號: C23C28/00
• 分類號: C23C28/00;C23C18/36;C23C14/35;C23C14/06
• 代理公司: 合肥順超知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 34120
• 代理人: 俞強

1.一種表面沉積BN薄膜的氟碳鋁單板，其特征在于：包括氟碳鋁單板基底、Ni-P化學鍍中間層、BN薄膜，所述氟碳鋁單板基底表面化學鍍Ni-P合金，制得Ni-P化學鍍中間層，再采用射頻磁控濺射法在Ni-P化學鍍中間層表面沉積一層BN薄膜；

所述化學鍍Ni-P合金中所用的Ni-P化學鍍液的配方為：硫酸鎳25-30g/L、次亞磷酸鈉13-18 g/L、碳酸鈉1-5 g/L、環己六醇六磷酸脂10-15 g/L、檸檬酸三鈉10-14 g/L、表面活性劑 3-6 g/L。

2.根據權利要求1所述的表面沉積BN薄膜的氟碳鋁單板，其特征在于，所述化學鍍Ni-P合金中所用的Ni-P化學鍍液的配方為：硫酸鎳27g/L、次亞磷酸鈉17 g/L、碳酸鈉3 g/L、環己六醇六磷酸脂11 g/L、檸檬酸三鈉13 g/L、表面活性劑4 g/L。

3.根據權利要求1所述的表面沉積BN薄膜的氟碳鋁單板，其特征在于，所述表面活性劑為十二烷基苯磺酸鈉。

4.根據權利要求1所述的表面沉積BN薄膜的氟碳鋁單板，其特征在于，所述氟碳鋁單板基底表面化學鍍Ni-P合金的工藝包括如下步驟：將氟碳鋁單板基底進行脫脂、水洗；將Ni-P化學鍍液的pH調整為4-5.5，加熱至70-80℃，在該溫度下向鍍液中加入氟碳鋁單板基底，攪拌2-3h；取出氟碳鋁單板基底，干燥，在150-170℃下進行熱處理7-10h；最后進行水洗、烘干。

5.根據權利要求1所述的表面沉積BN薄膜的氟碳鋁單板，其特征在于，所述BN薄膜厚3-6μm。