[發明專利]基于柔性PIN二極管的輻照強度檢測器

在審

• 申請號: 201711080295.8
• 申請日: 2017-11-06
• 公開（公告）號: CN107765289A
• 公開（公告）日: 2018-03-06
• 發明（設計）人: 秦國軒;趙政;張一波;王亞楠;黨孟嬌
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: G01T1/24
• 分類號: G01T1/24
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所12201
• 代理人: 劉國威

1.一種基于柔性PIN二極管的輻照強度檢測器，其特征是，可拆卸的輻照探測陣列，包括探測陣列控制單元、可拆卸的輻射強度探測陣列、前端預處理電路、A/D轉換電路、處理器；可拆卸的輻射強度探測陣列由眾多輻射強度探測單元有序排列而成，其中輻射強度探測單元由2個起探測作用的柔性PIN二極管，一個起開關作用的TFT器件以及傳輸數據的金屬互連線構成；探測陣列輸出信號到前端預處理電路，之后通過A/D轉換電路將測得的模擬信號轉換成數字信號傳輸到探測陣列控制單元實現對輻照強度的判定，并將判定結果進行顯示/輸出。

2.如權利要求1所述的基于柔性PIN二極管的輻照強度檢測器，其特征是，襯底包括PET塑料基板和SU8粘合層，用來支撐柔性PIN二極管和TFT開關器件，檢測單元制作在PET塑料基板上，在PET塑料上表面有一層SU8材料層，作為PET基板與探測部分之間的粘合層，探測部分的主體部分包括2個并聯的柔性PIN二極管和1個TFT開關，柔性PIN二極管由：P摻雜區、N摻雜區和未摻雜區相互交叉組成；柔性TFT開關由：未摻雜區和N型摻雜區組成，該區域為主要的輻射檢測區域，該區域呈正方形或者是長方形。

3.如權利要求1所述的基于柔性PIN二極管的輻照強度檢測器，其特征是，柔性PIN二極管的，由P摻雜區、N摻雜區和未摻雜區相互交叉組成，具體地N摻雜區-未摻雜區-P摻雜區-第二層未摻雜區-第二層N摻雜區；進而在N摻雜區及P摻雜區上淀積金屬形成完整的柔性PIN二極管，最下方的摻雜區通過SU8膠粘合于PET塑料基板上；柔性TFT開關的摻雜區也是通過SU8膠粘合于PET塑料基板上，由未摻雜區和N型摻雜區交叉組成，即N摻雜區-未摻雜區-第二層N摻雜區；并在完成位于未摻雜區上方柵氧層制作的基礎上淀積金屬形成完整的柔性TFT開關，柔性TFT開關由鉛盒包裹；在制作出完整的柔性PIN二極管和TFT開關的基礎上通過淀積金屬連接PIN二極管的全部N摻雜區和TFT開關的第一層N摻雜區，并將PIN二極管中的P摻雜區引出至端口，將TFT開關的第二層N摻雜區引出至另一個端口，將TFT開關的柵氧層引出至第3個端口，實現器件的互聯以及輸入輸出端口的設定。

4.如權利要求1所述的基于柔性PIN二極管的輻照強度檢測器，其特征是，柔性PIN二極管,采用插指型并聯的方式進行連接，通過一個柔性TFT開關控制信號的通斷，同時控制部分和探測部分間設置有隔離區域防止出現信號干擾，對探測單元開關的控制最佳實現方案為通過編程實現處理器對I/O端口輸出信號的控制。