[發明專利]一種溶液環境可控的高性能薄膜制備裝備

有效

• 申請號: 201711079896.7
• 申請日: 2017-11-06
• 公開（公告）號: CN107894741B
• 公開（公告）日: 2020-03-17
• 發明（設計）人: 楊冠軍;黃世玉;丁斌;楚倩倩;李長久;李成新
• 申請（專利權）人: 西安交通大學
• 主分類號: G05B19/05
• 分類號: G05B19/05;G05D27/02
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 徐文權

1.一種溶液環境可控的高性能薄膜制備裝備，其特征在于，包括制備腔室(1)、低壓腔室(2)、真空泵(3)、穩壓裝置(5)、抽氣控制器(6)、實驗環境控制裝置(7)；制備腔室(1)用于放置含有液膜的基體，通過抽氣控制器(6)與低壓腔室(2)連接；低壓腔室(2)分別與真空泵(3)和穩壓裝置(5)連接；實驗環境控制裝置(7)連接制備腔室(1)，用于控制制備腔室(1)內的溫度和濕度；

所述抽氣控制器(6)包括流量調節閥、控制器和壓力傳感器，壓力傳感器檢測制備腔室(1)內的壓力并將信號傳輸給控制器，控制器根據所接收的信號控制流量調節閥的開度；流量調節閥的一端連接制備腔室(1)，另一端連接低壓腔室(2)；并且，所述抽氣控制器包括十字型管道，在所述制備腔室上蓋體上設有一個氣路，氣路連接十字分支管道，并通過一個十字分支管道分為三路，一路連接破真空器，另一路連接所述壓力傳感器，最后一路連接所述流量調節閥；

所述穩壓裝置(5)包括控制器、壓力傳感器和流量調節閥，壓力傳感器設置在低壓腔室(2)內并將壓力信號傳輸給控制器，控制器根據接收的壓力信號控制流量調節閥的開度，流量調節閥的一端連接低壓腔室(2)，另一端連接空氣。

2.如權利要求1所述的溶液環境可控的高性能薄膜制備裝備，其特征在于，所述制備腔室(1)包括底板和覆蓋底板的蓋體，底板和蓋體之間可拆卸地密封連接；底板和蓋體之間的腔室空間用于放置含有液膜的基體。

3.如權利要求2所述的溶液環境可控的高性能薄膜制備裝備，其特征在于，底板和蓋體之間設置橡膠密封圈，使得制備腔室(1)在工作時最低壓力能夠達到10-5Pa。

4.如權利要求1所述的溶液環境可控的高性能薄膜制備裝備，其特征在于，抽氣控制器(6)還包括與流量調節閥串聯的凈化器，凈化器與流量調節閥設置在制備腔室(1)與低壓腔室(2)之間。

5.如權利要求1所述的溶液環境可控的高性能薄膜制備裝備，其特征在于，抽氣控制器(6)還包括真空破除器，真空破除器的一端連接空氣，另一端連接制備腔室(1)。

6.如權利要求1所述的溶液環境可控的高性能薄膜制備裝備，其特征在于，真空泵(3)為機械泵、分子泵、擴散泵、低溫泵、離子泵、水環泵中的一種或多種；當真空泵(3)為多個泵時，各個泵之間串聯。

7.如權利要求1所述的溶液環境可控的高性能薄膜制備裝備，其特征在于，所述控制器設置有存儲器，用于存儲壓力傳感器檢測的壓力和相應的流量調節閥的開度。

8.如權利要求1所述的溶液環境可控的高性能薄膜制備裝備，其特征在于，在真空泵(3)與低壓腔室(2)之間設置有抽氣閥門(4)。