[發明專利]顯示器檢測裝置及方法有效
| 申請號: | 201711070083.1 | 申請日: | 2017-11-03 |
| 公開(公告)號: | CN107703656B | 公開(公告)日: | 2020-06-05 |
| 發明(設計)人: | 劉哲 | 申請(專利權)人: | 武漢華星光電技術有限公司 |
| 主分類號: | G02F1/13 | 分類號: | G02F1/13 |
| 代理公司: | 廣州三環專利商標代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝傳鑫;熊永強 |
| 地址: | 430070 湖北省武漢市武*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 顯示器 檢測 裝置 方法 | ||
本發明顯示器檢測裝置,通過在被測顯示器外依次設置光源、聚光單元、分光單元和光電轉換器,其中聚光單元對檢測光束持續作用的等頻率的激勵,使得檢測光束保持等頻率的焦距變化,且檢測光束的焦距變化范圍始終包容被測顯示器表面焦點,使得本發明檢測裝置具備了主動調焦的功能,使得被測顯示器的表面形貌、反射率或者缺陷反應在反射光束強度的變化上,同時使得檢測光束的聚焦點不再局限聚焦于被測物的表面,大大增加了本裝置的檢測范圍,提高檢測效率。
技術領域
本發明涉及液晶顯示器制造領域,尤其涉及顯示器及內部結構層的檢測。
背景技術
在顯示器件的制程中,需要量測或者檢測一些器件或者圖形的表面微結構輪廓、表面粗糙度、表面完整狀況、表面反射率等特征。對于這一類缺陷的檢測,目前通用的測試儀器分為接觸式和非接觸式兩類檢測方式。
對于接觸式檢測方式,通常采用的測試工具為探頭檢測,檢測儀帶動探頭與被檢測顯示器的外表面接觸,并將感應到的數據傳回終端,由人工或者檢測儀自動判定被檢測顯示器的缺陷情況。因為是接觸式檢測,在檢測的過程中探頭不可避免地與被測表面之間產生摩擦,極易造成顯示器變形和磨損。而為了減輕摩擦帶來的損害,還要保證一定的接觸面積以保證數據有效,需要在探頭的運動過程中嚴格控制探頭與被測顯示器的相對距離,公差帶也需要嚴格限制,因此造成探頭與被測顯示器間的相對運動速度偏低,檢測效率受限。
對于非接觸式檢測方式,通常采用光束、聲波等定向能媒介進行檢測,檢測儀帶動定向能發生器,與被測顯示器表面呈一定的距離,并持續一邊向被測顯示器發射定向能媒介,一邊將媒介對被測監視器表面產生的反饋信號進行收集整理,再轉換成電信號以供人工或檢測儀進行判定,這種方法對檢測儀和被測顯示器直接的相對運動速度、相對距離的檢測要求相較于接觸式檢測來說相對更低,具備一定的包容度。但由于顯示器中各結構層的高低、結構組合、包括各器件銜接處的細節差別,使得檢測儀對微小圖形進行量測時通常需要精確聚焦,如果焦距需要不停變換,增加了量測設備的復雜度。
發明內容
本發明的目的在于提供一種能夠實現主動對角的非接觸式的顯示器檢測裝置,提供如下技術方案:
一種顯示器檢測裝置,包括光源和位于所述光源和被測顯示器之間的聚光單元和分光單元,以及光電轉換器;所述光源發出的檢測光束依次經過所述聚光單元和所述分光單元,并投射至所述被測顯示器;所述聚光單元包括透鏡組和振動單元,所述振動單元用于為所述透鏡組提供恒定頻率的簡諧振動,使得所述透鏡組對所述檢測光束變換聚焦點;所述被測顯示器位于所述聚焦點的變換范圍以內;所述分光單元用于接收所述被測顯示器反射的所述檢測光束,并將所述檢測光束反射至所述光電轉換器。
其中,所述聚光單元還包含動力源,所述動力源與所述振動單元固連,用于激勵所述振動單元,保持所述振動單元的振幅和頻率恒定。
其中,所述振動單元為音叉,所述透鏡組包含第一振動鏡片和第二振動鏡片,所述音叉兩叉腳分別連接所述第一振動鏡片和所述第二振動鏡片。
其中,所述聚光單元還包含浮動機構,所述浮動機構用于所述振動單元與連接的所述振動鏡片之間的連接,以保證所述振動鏡片在振動過程中保持水平姿態。
本發明還涉及一種顯示器檢測方法,包含以下步驟:
定義垂直于所述被測顯示器平面的方向為第一方向,利用光源沿所述第一方向朝所述被測顯示器投射檢測光束;
利用聚光單元匯聚所述檢測光束,所述聚光單元包含透鏡組和振動單元,所述振動單元用于在檢測過程中為所述透鏡組提供恒定頻率的簡諧振動,使得所述透鏡組在檢測過程中持續對所述檢測光束變換聚焦點,并保證所述被測顯示器位于所述聚焦點的變換范圍以內;
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