[發明專利]一種同向振鏡的校正方法

有效

• 申請號: 201711063867.1
• 申請日: 2017-11-02
• 公開（公告）號: CN108044232B
• 公開（公告）日: 2019-09-13
• 發明（設計）人: 邱勇;江帆
• 申請（專利權）人: 北京金橙子科技股份有限公司
• 主分類號: B23K26/04
• 分類號: B23K26/04
• 代理公司: 北京中南長風知識產權代理事務所(普通合伙) 11674
• 代理人: 王東偉

1.一種同向振鏡的校正方法，其特征在于，包括：

步驟1，基于失真圓弧的參數建立校正網格模型，對同向振鏡Y軸方向的曲線失真進行校正，具體包括：

通過振鏡控制系統在振鏡加工幅面標刻加工圖形；

計算失真圓弧的弦高參數，確定Y軸失真曲線在X方向的最大偏移誤差；

在加工幅面內建立n行n列校正網格，結合可動態調整的曲線失真因子，采用線性插值的方法計算出每一行的偏移誤差，得到n點*n點的振鏡校正表；其中，n為自然數，其取值范圍為17至65；

將得到的振鏡校正表導入振鏡控制系統中，重新標刻加工圖形，得到實際加工圖形；

步驟2，基于多標記點的方式，對振鏡失真作進一步的精密校正，具體包括：

在振鏡的加工幅面內均勻標刻多個標記點，依次測量實際加工圖形中每一個標記點到X、Y軸的距離，得到每一個標記點的實際坐標位置；

基于仿射變換方法，建立振鏡理論圖形到加工圖形的數學模型；所述數學模型為：

x₁＝a₀x₀+b₀y₀+c₀x₀y₀；

y₁＝a₁x₀+b₁y₀+c₁x₀y₀；

其中，x₁為加工圖形X方向實際坐標，(x₀,y₀)為加工圖形理論坐標；y₁為加工圖形Y方向實際坐標，(x₁,y₁)為加工圖形實際坐標；

將標記點的理論坐標、實際坐標代入所述數學模型，得到模型的相關參數；

將n行n列校正網格點帶入所述數學模型中計算出每一點的實際坐標，計算實際坐標與理論坐標的差，得到該點的位置誤差；

將所述位置誤差與所述偏移誤差進行疊加得到該點最終的位置誤差。

2.根據權利要求1所述的一種同向振鏡的校正方法，其特征在于，所述加工圖形為內設有十字中心線的正方形，所述正方形的尺寸設定為振鏡加工幅面的80％。

3.根據權利要求1所述的一種同向振鏡的校正方法，其特征在于，所述最終的位置誤差具體通過對每一個校正網格內的點，采用雙線性插值的方法計算每一個點的位置誤差得到。

4.根據權利要求1所述的一種同向振鏡的校正方法，其特征在于，所述標記點的數量選為3*3,5*5,7*7,…,65*65。

5.根據權利要求4所述的一種同向振鏡的校正方法，其特征在于，所述步驟2包括:采用迭代的方式進行多標記點校正，包括：

選擇3*3點校正，之后評估振鏡校正的精度是否滿足要求，如果不滿足在此基礎上在做5*5點的校正，如果5*5點的精度不滿足要求，繼續增加標記點的數量做更多點數的校正，直至校正精度滿足要求為止。