[發明專利]運動臺移動機構、運動臺系統與光刻裝置

在審

• 申請號: 201711060732.X
• 申請日: 2017-10-31
• 公開（公告）號: CN109725497A
• 公開（公告）日: 2019-05-07
• 發明（設計）人: 管博然;李志龍
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種運動臺移動機構，其特征在于，包括：滾輪、固定件、彈簧、導向桿和連接件；所述彈簧和所述導向桿均沿第一方向設置，所述導向桿的一端連接所述連接件，所述固定件套設于所述導向桿外側，所述彈簧兩端分別作用于所述連接件與所述固定件，所述滾輪連接于所述連接件，所述固定件用于固定連接所述運動臺的框架。

2.根據權利要求1所述的運動臺移動機構，其特征在于，還包括限位調節結構，所述限位調節結構用于限制所述固定件沿所述導向桿移動的位置，以及調節所述固定件與所述連接件之間的最大極限距離。

3.根據權利要求2所述的運動臺移動機構，其特征在于，所述限位調節結構包括調節桿與限位調節組件，所述調節桿沿所述第一方向設置，所述調節桿的第一端連接所述連接件，所述固定件套設于所述調節桿外側，所述限位調節組件連接所述調節桿的第二端，且位于所述固定件的與所述彈簧相背的一側，以限制和調整所述固定件沿所述導向桿的移動位置。

4.根據權利要求3所述的運動臺移動機構，其特征在于，所述限位調節組件包括限位軸與環狀的墊片，所述限位軸連接于所述調節桿的第二端，所述限位軸的直徑大于所述調節桿的直徑，所述墊片設于所述限位軸的端面與所述固定件之間，且所述墊片的中孔的直徑與調節桿的直徑匹配。

5.根據權利要求3所述的運動臺移動機構，其特征在于，所述限位調節組件包括螺母結構，所述調節桿的第二端設有與所述螺母結構匹配的螺紋結構。

6.根據權利要求3至5任一項所述的運動臺移動機構，其特征在于，至少之一所述彈簧套設于所述調節桿外側。

7.根據權利要求1至5任一項所述的運動臺移動機構，其特征在于，還包括用于驅動所述滾輪旋轉的驅動裝置，

所述驅動裝置包括依次傳動的電機和減速器組件，所述減速器組件通過一聯動裝置傳動所述滾輪。

8.根據權利要求7所述的運動臺移動機構，其特征在于，所述驅動裝置設于所述滾輪的水平向的一側。

9.根據權利要求7所述的運動臺移動機構，其特征在于，所述驅動裝置設于所述固定件與所述連接件之間，且安裝于所述連接件，所述連接件設有通孔，所述驅動裝置的走線穿設于所述通孔，所述聯動裝置穿過所述通孔進行傳動。

10.根據權利要求1至5任一項所述的運動臺移動機構，其特征在于，所述彈簧的初始長度L、彈簧常數K，彈簧壓縮后提供的預設張力F，以及所述固定件與所述連接件之間的距離D，滿足以下公式：D＝L-(F/K)；和/或：

所述彈簧的初始長度L、彈簧常數K、彈簧的最大負載A，以及彈簧允許最大位移量與彈簧長度的占比B，滿足以下公式：K＝A/(B*L)。

11.根據權利要求1至5任一項所述的運動臺移動機構，其特征在于，還包括無油軸套，所述無油軸套設于所述固定件內部，且套設于所述導向桿外側。

12.根據權利要求1至5任一項所述的運動臺移動機構，其特征在于，至少之一所述彈簧套設于所述導向桿外側。

13.一種運動臺系統，其特征在于，包括如權利要求1至12任一項所述的移動機構，所述運動臺用于承載基片，并帶動其運動。

14.一種光刻裝置，其特征在于，包括如權利要求13所述的運動臺系統。