[發明專利]一種硅片擴散后清洗工藝

有效

• 申請號: 201711057485.8
• 申請日: 2017-11-01
• 公開（公告）號: CN109755099B
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發明（設計）人: 黃志煥;李亞哲;徐長坡;陳澄;梁效峰;楊玉聰;王曉捧
• 申請（專利權）人: 天津環鑫科技發展有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02
• 代理公司: 天津諾德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

1.一種硅片擴散后清洗工藝，其特征在于：具體包括以下步驟，

S1：對擴散后的硅片進行酸處理：將硅片浸泡于酸溶液中，所述硅片浸沒與所述酸溶液中，浸泡時間為36-60h，且每隔10-15h進行所述酸溶液更換，所述酸處理為氫氟酸處理，所述氫氟酸的濃度為49％-60％；對酸處理后的硅片進行溢水清洗，所述溢水清洗的時間為30-60min，且溢水清洗時的純水流量為4-10L/min；

S2：對所述酸處理的硅片進行混酸處理；所述混酸處理的具體步驟為：

S21：配置混酸溶液：將硝酸、氫氟酸、乙酸與純水按照體積比為2000-3000ml∶200-500ml∶100-300ml∶2000-3000ml進行配置；

S22：將硅片置于所述混酸溶液中進行腐蝕處理，腐蝕時間為10-30s；

S23：將經過混酸腐蝕處理的硅片進行純水清洗，清洗的時間為5-15min，純水的流量為4-10L/min；

S3：對所述混酸處理的硅片進行有機溶劑處理；所述有機溶劑處理為無水乙醇處理，所述無水乙醇處理包括以下步驟：

S31：將經過混酸處理后的硅片置于無水乙醇中進行脫水處理，脫水時間為10-30s；

S32：將硅片用氮氣吹干，并置于烘箱中進行烘干；

S33：對硅片進行檢查；

完成有機溶劑處理的硅片進行外觀抽樣檢查，磷面呈灰白色，無明顯彩色花紋為合格片，不合格硅片進行返工，重復上述酸處理、水清洗、混酸清洗和有機溶劑清洗，在返工過程中，混酸處理的時間增加，以使硅片達到合格，混酸處理時間為30-60s。