[發明專利]反射鏡微調裝置及方法

有效

• 申請號: 201711056920.5
• 申請日: 2017-10-27
• 公開（公告）號: CN107942470B
• 公開（公告）日: 2020-10-13
• 發明（設計）人: 何堅兵;潘奕;丁俊俠;丁慶
• 申請（專利權）人: 深圳市太赫茲科技創新研究院;深圳市太赫茲系統設備有限公司
• 主分類號: G02B7/182
• 分類號: G02B7/182;H02K33/02
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 吳平

本發明提供一種反射鏡微調裝置及方法。反射鏡微調裝置包括夾持結構，用于在所述反射鏡兩面的邊緣處彈性相抵以彈性地夾持所述反射鏡；所述夾持結構包括至少一個與所述反射鏡帶有鍍層的一面相抵接的懸空抵接件；微調結構，用于給所述反射鏡帶有鍍層的一面提供調整所述反射鏡轉動角度所需的推力；所述推力施加在至少一個所述懸空抵接件上。本發明還提供一種基于反射鏡微調裝置的反射鏡微調方法。本發明將微調結構與夾持結構的連接，實現了在滿足低分辨率的情況下反射鏡角度的自動化調整，由于微調結構的成本低廉，從而降低了傳統反射鏡微調裝置的成本，并且使微調裝置更容易控制。

技術領域

本發明涉及反射鏡角度微調領域，特別是涉及一種反射鏡微調裝置及方法。

背景技術

目前，在光學實驗以及光學儀器中，很多地方都要對反射鏡的角度進行微調。在傅里葉變換紅外光譜儀中，需要微調分辨率達到1um。而手動調節的千分尺分辨率一般為0.01mm。目前，對于一些微調分辨率要求較高，并且需要自動化調整的場合，往往使用壓電陶瓷制成的壓電陶瓷電機來控制，可以達到10nm的分辨率，但是壓電陶瓷電機價格昂貴，并且需要高壓供電，一般需要的電壓超過75V或150V，而且對于由壓電陶瓷電機組成的反射鏡角度自動調整裝置不太容易使用。

發明內容

基于此，有必要針對反射鏡微調裝置的成本較高、需要高壓供電、不太容易使用的問題，提供一種反射鏡微調裝置及方法。

一種反射鏡微調裝置，用于提高反射鏡的偏移精度，包括：

夾持結構，用于在所述反射鏡兩面的邊緣處彈性相抵以彈性地夾持所述反射鏡；所述夾持結構包括至少一個與所述反射鏡帶有鍍層的一面相抵接的懸空抵接件；微調結構，用于給所述反射鏡帶有鍍層的一面提供調整所述反射鏡轉動角度所需的推力；所述推力施加在至少一個所述懸空抵接件上。

在其中一個實施例中，所述夾持結構還包括夾持本體、抵接件以及與所述夾持本體連接的至少兩個彈片；所述夾持本體開設有與所述反射鏡形狀相似、并用于容納所述反射鏡的開口；所述彈片從所述反射鏡未帶鍍層的一面與所述反射鏡相抵，所述抵接件從所述反射鏡帶有鍍層的一面與所述反射鏡相抵。

在其中一個實施例中，所述夾持本體上開設有自夾持本體外側向所述開口內延伸的多個通孔，所述抵接件穿過所述通孔延伸出的部分與所述反射鏡帶有鍍層的一面相抵接，留在所述通孔內的部分與所述夾持本體固定連接。

在其中一個實施例中，所述抵接件包括螺紋件、金屬條、金屬方條中的至少一種。

在其中一個實施例中，所述抵接件與所述反射鏡帶有鍍層的一面抵接的部分為平面。

在其中一個實施例中，所述抵接件的粗細和所述抵接件穿過所述通孔延伸出的部分的長度能夠根據實際需要進行改變。

在其中一個實施例中，所述微調結構包括：

底板，用于提供支撐；線圈，用于產生電磁場，與所述底板連接；推拉軸，用于提供所述推力，置于所述線圈內部；復位彈片，用于產生回力，分別與所述底板和所述推拉軸連接；導線，用于提供電能，與所述線圈電氣連接。

在其中一個實施例中，所述復位彈片包括銅片、鐵片、不銹鋼片中的至少一種。

本發明基于上述反射鏡微調裝置還提供一種反射鏡微調方法，所述方法包括步驟：

將抵接件穿過夾持結構的通孔，調整所述抵接件的位置；

將彈片安裝在所述夾持結構的夾持本體上；

通過所述彈片與所述抵接件在反射鏡兩面的邊緣處彈性相抵以彈性地夾持住所述反射鏡；

調整微調結構與所述夾持結構的位置并將所述微調結構與所述夾持結構連接；

通過調節所述微調結構產生的推力對所述反射鏡的轉動角度進行調整。