[發明專利]包括體聲波諧振器的濾波器

有效

• 申請號: 201711056803.9
• 申請日: 2017-10-25
• 公開（公告）號: CN108023565B
• 公開（公告）日: 2021-07-13
• 發明（設計）人: 成重宇;樸潤錫;鄭原圭
• 申請（專利權）人: 三星電機株式會社
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 孫麗妍;金光軍

本發明提供一種包括體聲波諧振器的濾波器。所述濾波器包括：多層結構，包括膜，并形成體聲波諧振器；蓋，容納所述體聲波諧振器，并且結合到所述多層結構；結合劑，設置在所述多層結構和所述蓋之間的結合區域中，并包括結合層；以及屏蔽層，設置在所述蓋的內表面上，并包括與所述結合層的至少一部分的材料相同的材料。

本申請要求于2016年10月31日在韓國知識產權局提交的第10-2016-0143715號以及于2017年3月27日在韓國知識產權局提交的第10-2017-0038522號韓國專利申請的優先權的權益，所述韓國專利申請的全部公開內容出于所有目的通過引用被包含于此。

技術領域

以下描述涉及一種包括體聲波諧振器的濾波器。

背景技術

根據包括移動通信裝置和化學/生物裝置的許多高功能技術的飛速發展，對在上述裝置中使用的緊湊且輕量化的濾波器、振蕩器、諧振元件、聲諧振質量傳感器等的需求近來也已經增加。

為了實現這樣緊湊且輕量化的濾波器、振蕩器、諧振元件、聲諧振質量傳感器等，使用膜體聲波諧振器(FBAR)是典型的。膜體聲波諧振器可以以最小的成本大批量生產，并且可以是用于使實現的總尺寸最小化的非常小的尺寸。此外，膜體聲波諧振器可實現高品質因子Q值(濾波器的主要特性)，甚至可被使用在微波頻帶中，并且尤其可被用在高達個人通信系統(PCS)和數字無線系統(DCS)的頻帶的頻帶中。

通常，膜體聲波諧振器包括通過在基板上順序地堆疊第一電極、壓電層和第二電極而實現的諧振部。膜體聲波諧振器如下進行操作。首先，通過將電能施加到第一電極和第二電極而在壓電層中誘發電場，通過誘發的電場在壓電層中產生壓電現象。結果，諧振部在預定方向上振動。結果，在與諧振部的振動方向相同的方向上產生體聲波，從而諧振發生。

發明內容

提供本發明內容以按照簡化形式介紹選擇的構思，以下在具體實施方式中進一步描述所述構思。本發明內容并不意在確定所要求保護的主題的關鍵特征或必要特征，也不意在用于幫助確定所要求保護的主題的范圍。

在一個總體方面，一種濾波器包括：多層結構，包括膜，并形成體聲波諧振器；蓋，容納所述體聲波諧振器，并且結合到所述多層結構；結合劑，設置在所述多層結構和所述蓋之間的結合區域中，并包括結合層；以及屏蔽層，設置在所述蓋的內表面上，并包括與所述結合層的至少一部分的材料相同的材料。

所述屏蔽層可包括金(Au)、銅(Cu)、銀(Ag)、鉑(Pt)、鎳(Ni)和鈀(Pd)中的一種。

所述結合劑可促進所述多層結構和所述蓋的共晶結合。

所述結合劑可包括依次堆疊在所述多層結構和所述蓋之間的至少三個結合層。所述至少三個結合層中的設置在最外面的兩個結合層可包括與所述屏蔽層的材料相同的材料。

所述兩個結合層可包括金(Au)、銅(Cu)、銀(Ag)、鉑(Pt)、鎳(Ni)和鈀(Pd)中的一種。

設置在所述兩個結合層之間的結合層可包括錫(Sn)。

所述蓋的所述屏蔽層和所述多層結構之間的距離可在15μm至45μm的范圍內。

所述屏蔽層可被構造為減小引入到所述體聲波諧振器中的電磁干擾。

所述體聲波諧振器可形成梯式濾波器。

所述體聲波諧振器可形成晶格式濾波器。

在一個總體方面，一種濾波器包括：多層結構，包括膜，并形成體聲波諧振器；蓋，容納所述體聲波諧振器，包括具有敞開的底表面的六面體形狀，并結合到所述多層結構；以及屏蔽層，設置在所述蓋的內表面上。所述屏蔽層和所述多層結構之間的距離在15μm至45μm的范圍內。

所述屏蔽層和所述多層結構之間的距離可在30μm至45μm的范圍內。