[發明專利]用于線性涂布機中的清洗液過濾裝置、方法及線性涂布機有效
| 申請號： | 201711056351.4 | 申請日： | 2017-10-27 |
| 公開（公告）號： | CN107744678B | 公開（公告）日： | 2021-04-30 |
| 發明（設計）人： | 李威;易天華 | 申請（專利權）人： | 武漢華星光電技術有限公司 |
| 主分類號： | B01D29/03 | 分類號： | B01D29/03;B01D36/00;B01D3/00;B01D61/00;G03F7/16 |
| 代理公司： | 深圳匯智容達專利商標事務所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 潘中毅;熊賢卿 |
| 地址： | 430000 湖北省武漢市武*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 線性 涂布機 中的 清洗 過濾 裝置 方法 | ||
1.一種用于線性涂布機中的清洗液過濾裝置，其特征在于，所述清洗液過濾裝置包括：
容器本體，其一側通過第一管道與線性涂布機中盛放清洗液的清洗槽的底部連通；
設置于所述容器本體內的兩層過濾膜片，用于過濾所述清洗液中的光阻以及光阻添加劑；其中，第一層過濾膜片為光阻過濾膜片，用于過濾掉大分子光阻，第二層過濾膜片為有機滲透膜，用于過濾掉小分子光阻添加劑；
蒸餾冷凝裝置，設置于所述兩層過濾膜片與輸送管道之間，用于對經所述兩層過濾膜片過濾后的清洗液進行蒸餾冷凝處理，獲得處理后的過濾液；
輸送管道，用于將依次經過濾和蒸餾冷凝處理后的清洗液輸送至所述清洗槽中。
2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，在所述第一管道上設置有第一開關；在所述輸送管道上設置有第二開關以及輸送泵。
3.一種線性涂布機，其包括主框架、設置于所述主框架上的用于放置玻璃基板的涂布臺、移動涂布機構、噴嘴頭、預吐滾軸、盛放清洗液的清洗槽，其特征在于，進一步包括清洗液過濾裝置，所述清洗液過濾裝置包括：
容器本體，其一側通過第一管道與線性涂布機中盛放清洗液的清洗槽的底部連通；
設置于所述容器本體內的兩層過濾膜片，用于過濾所述清洗液中的光阻以及光阻添加劑；其中，第一層過濾膜片為光阻過濾膜片，用于過濾掉大分子光阻，第二層過濾膜片為有機滲透膜，用于過濾掉小分子光阻添加劑；
蒸餾冷凝裝置，設置于所述兩層過濾膜片與輸送管道之間，用于對經所述兩層過濾膜片過濾后的清洗液進行蒸餾冷凝處理，獲得處理后的過濾液；
輸送管道，用于將依次經過濾和蒸餾冷凝處理后的清洗液輸送至所述清洗槽中。
4.如權利要求3所述的線性涂布機，其特征在于，在所述第一管道上設置有第一開關；在所述輸送管道上設置有第二開關以及輸送泵。
5.一種用于線性涂布機中的清洗液過濾方法，在如權利要求3-4任一項所述的線性涂布機中實現，其特征在于，包括如下步驟：
步驟S10，當噴嘴頭在所述預吐滾軸上完成預吐操作后，將清洗槽中的清洗液輸送到所述清洗液過濾裝置中；
步驟S11，對所述清洗液經過兩層過濾膜片進行過濾；
步驟S12，通過蒸餾冷凝裝置對所述經過濾膜片過濾后的清洗液進行蒸餾冷凝處理，獲得處理后的過濾液；
步驟S13，將經過濾后的清洗液輸送回至所述清洗槽中。
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