[發明專利]掩膜板及掩膜組件有效
| 申請號： | 201711054173.1 | 申請日： | 2017-10-31 |
| 公開（公告）號： | CN107768551B | 公開（公告）日： | 2019-06-25 |
| 發明（設計）人： | 戚海平 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司 |
| 主分類號： | H01L51/56 | 分類號： | H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京三高永信知識產權代理有限責任公司 11138 | 代理人： | 滕一斌 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 掩膜板 組件 | ||
1.一種掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括：掩膜板主體，
所述掩膜板主體上設置有鏤空區域，所述掩膜板主體的邊緣向外延伸有n個凸起，n≥3，
所述掩膜板主體的邊緣向外延伸有m個緩沖部，每個所述緩沖部的表面凹凸不平，m≥1。
2.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板還包括：連接框，
所述掩膜板主體套接在所述連接框內，且所述凸起和所述緩沖部均與所述連接框連接。
3.根據權利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板主體上設置有呈矩陣狀排列的多個鏤空區域，
任意相鄰的兩行鏤空區域相互靠近一側的距離為S，所述凸起的寬度方向平行于所述掩膜板主體，所述n個凸起的寬度均為W，0.5S＜W＜S，每個所述凸起的高度與所述連接框的寬度之差均小于預設差值閾值。
4.根據權利要求3所述的掩膜板，其特征在于，
所述掩膜板主體呈矩形，且所述矩形的每個頂角處均設置有兩個第一凸起，所述兩個第一凸起的高度方向分別垂直于構成所述每個頂角的兩條邊；
所述多個鏤空區域的行方向平行于所述矩形的第一邊，所述多個鏤空區域的列方向平行于所述矩形的第二邊，所述第一邊上任意相鄰的兩列鏤空區域之間的位置設置有一個第二凸起，所述第二邊上任意相鄰的兩行鏤空區域之間的位置設置有一個第二凸起。
5.根據權利要求4所述的掩膜板，其特征在于，所述m＝4，所述每個頂角處的兩個第一凸起之間設置有一個所述緩沖部。
6.根據權利要求4所述的掩膜板，其特征在于，所述n個凸起中任意兩個相鄰的凸起之間設置有一個所述緩沖部。
7.根據權利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述n＝8，
所述掩膜板主體呈矩形，且所述矩形的每個頂角處均設置有兩個第一凸起，所述兩個第一凸起的高度方向分別垂直于構成所述每個頂角的兩條邊；
所述矩形的每條邊上均等間距排布有多個所述緩沖部，且每個所述緩沖部對應兩行鏤空區域或兩列鏤空區域。
8.根據權利要求7所述的掩膜板，其特征在于，所述每個頂角處設置的兩個第一凸起之間設置有一個所述緩沖部。
9.一種掩膜組件，其特征在于，所述掩膜組件包括權利要求1至8任一所述的掩膜板。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態器件；專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的；具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射；專門適用于將這些輻射能轉換為電能，或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的，如有機發光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇
