[發明專利]高強度ITO靶材坯體的制備方法

在審

• 申請號: 201711053479.5
• 申請日: 2017-10-27
• 公開（公告）號: CN107573036A
• 公開（公告）日: 2018-01-12
• 發明（設計）人: 王雪濤;楊建新;田萌;王新會;馮孔柱;宋蕊立;劉志猛
• 申請（專利權）人: 河北惟新科技有限公司
• 主分類號: C04B35/01
• 分類號: C04B35/01;C04B35/457;C04B35/622;C04B35/626;C04B35/632
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1.一種高強度ITO靶材坯體的制備方法，包括制備預混液、制備漿料、注漿成型以及坯體脫模干燥的步驟，其特征在于，所述漿料中含有以下重量份數的組分：純度為99.99%以上、比表面積為1~10m²/g的ITO粉1000份，水150~250份，分散劑5~20份，粘接劑0.5~3份，消泡劑1~10份，塑化劑1~20份；

采用上述漿料制備ITO靶材坯體的具體方法包括以下步驟：

制備預混液，在水中依次加入分散劑和粘接劑，采用氨水調節pH值為8~10，混合均勻，得到預混液；

制備漿料，在預混液中加入ITO粉并轉移至球磨罐中進行濕法研磨40h，球磨罐中球磨機的轉速為200~300r/min；球磨均勻后，將混合均勻液體轉移至砂磨機中，加入消泡劑和塑化劑進行濕法研磨，砂磨機的轉速為1000~2000r/min，泵浦壓力為0.3~0.5MPa；研磨至粘度為50~300mPa·S時獲得ITO靶材漿料；

注漿成型，將ITO靶材漿料抽真空脫泡后，置于石膏磨具中澆筑成型，石膏磨具采用雙面吸漿，依靠模具的毛細空吸附漿料中的水而固化成型，期間需不斷地補充ITO靶材漿料，直至體積不再變化為止；

坯體脫模干燥，澆筑完成后，模具靜置放置2~3h后即固化成型，成型后脫模，脫模干燥得到高致密度的ITO靶材坯板。

2.根據權利要求1所述的高強度ITO靶材坯體的制備方法，其特征在于，所述分散劑為聚丙烯酸。

3.根據權利要求1所述的高強度ITO靶材坯體的制備方法，其特征在于，所述粘接劑為殼聚糖。

4.根據權利要求1所述的高強度ITO靶材坯體的制備方法，其特征在于，所述消泡劑為正辛醇。

5.根據權利要求1所述的高強度ITO靶材坯體的制備方法，其特征在于，所述塑化劑為甘油。

6.根據權利要求1至5任一項所述的高強度ITO靶材坯體的制備方法，其特征在于，所述漿料中含有以下重量份數的組分：純度為99.99%以上、比表面積為1~10m²/g的ITO粉1000份，水200份，分散劑20份，粘接劑3份，消泡劑10份，塑化劑10份。