[發明專利]一種OLED陽極的制備方法及OLED顯示裝置的制備方法

有效

• 申請號: 201711052745.2
• 申請日: 2017-10-30
• 公開（公告）號: CN107863451B
• 公開（公告）日: 2019-06-25
• 發明（設計）人: 邢磊
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L51/56
• 代理公司: 深圳匯智容達專利商標事務所(普通合伙) 44238
• 代理人: 潘中毅;熊賢卿

本發明提供一種OLED陽極的制備方法及OLED顯示裝置的制備方法，OLED陽極的制備方法包括下述步驟：在基板上形成陽極膜層，陽極膜層的材料為ITO材料；在陽極膜層上形成光刻膠膜層；圖形化光刻膠膜層，得到光刻膠掩膜圖案，光刻膠掩膜圖案包括：光刻膠完全保留區域、光刻膠半保留區域、光刻膠完全去除區域；對陽極膜層進行刻蝕，得到陽極圖案；去除光刻膠半保留區域；采用第一氣體對陽極圖案上位于光刻膠完全保留區域之外的部分進行等離子體處理，第一氣體包含O2、N2O、CF4、Ar中的至少一種氣體；去除所述光刻膠掩膜圖案。本發明可以提高有機發光層上厚度較小部分的亮度，補償有機發光層的厚度差異造成的顯示不均，提高顯示質量。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種OLED陽極的制備方法及OLED顯示裝置的制備方法。

背景技術

有機發光二極管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)顯示裝置是一種利用有機半導體材料在電流的驅動下產生的可逆變色現象來實現圖形顯示的設備。OLED顯示裝置具有超輕、超薄、高亮度、大視角、低電壓、低功耗、快響應、高清晰度、抗震、可彎曲、低成本、工藝簡單、使用原材料少、發光效率高和溫度范圍廣等優點，因此OLED顯示技術被認為是最有發展前途的新一代顯示技術。

OLED顯示裝置的基本結構包括：陽極層、陰極層、以及夾在陽極層和陰極層之間的有機發光層。通常，有機發光層是經過蒸鍍工藝蒸鍍在陽極層上的。然而在進行蒸鍍時，由于蒸發源的角度有上限，蒸鍍后的有機發光層容易出現不均勻的情況。具體如圖1所示，陽極層4’穿過平坦層3’與被平坦層3’覆蓋的漏極2’點連接，在陽極層4’上的有機發光層6’的兩端區域(也即圖1所示的b’區域處)材料的厚度要小于中央區域(也即圖1所示的a’區域處)的材料厚度，陽極層4’的下方為平坦層3’。這樣就導致OLED在發光時容易出現如圖2所示的發光單元四周發光不飽和、亮度低于發光單元中間區域的情況，從而導致OLED發光混色，影響顯示效果。

發明內容

為解決上述技術問題，本發明提供一種OLED陽極的制備方法及OLED顯示裝置的制備方法，可以提高有機發光層上厚度較小部分的亮度，補償有機發光層的厚度差異造成的顯示不均，提高顯示質量。

本發明提供的一種OLED陽極的制備方法，包括下述步驟：

在基板上形成陽極膜層，其中，所述陽極膜層的材料為ITO材料；

在所述陽極膜層上形成光刻膠膜層；

圖形化所述光刻膠膜層，得到光刻膠掩膜圖案，所述光刻膠掩膜圖案包括：光刻膠完全保留區域、光刻膠半保留區域、光刻膠完全去除區域，其中，所述光刻膠半保留區域位于所述光刻膠完全保留區域與所述光刻膠完全去除區域之間；

以所述光刻膠掩膜圖案作為抗刻蝕層，對所述陽極膜層進行刻蝕，得到陽極圖案；

去除所述光刻膠半保留區域；

采用第一氣體對所述陽極圖案上位于所述光刻膠完全保留區域之外的部分進行等離子體處理，其中，所述第一氣體包含O2、N2O、CF4、Ar中的至少一種氣體；

去除所述光刻膠掩膜圖案。

優選地，圖形化所述光刻膠膜層，具體為：

采用半透掩膜板或者灰度掩膜板對所述光刻膠膜層進行曝光及顯影處理。

優選地，在基板上形成陽極膜層，具體為：

通過磁控濺射或熱蒸發工藝在所述基板上制備所述陽極膜層。

優選地，對所述陽極膜層進行刻蝕，具體為：

采用濕法刻蝕的方式對所述陽極膜層進行刻蝕。

優選地，去除所述光刻膠半保留區域，具體為：