[發(fā)明專利]一種橫向雙擴(kuò)散金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)管

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711052150.7
• 申請日: 2017-10-30
• 公開（公告）號: CN107845675B
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張春偉;李陽;王靖博;岳文靜;付小倩;李志明
• 申請（專利權(quán)）人: 濟(jì)南大學(xué)
• 主分類號: H01L29/40
• 分類號: H01L29/40;H01L29/78
• 代理公司: 濟(jì)南圣達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 37221
• 代理人: 董雪

1.一種橫向雙擴(kuò)散金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)管，包括：源極金屬以及與源極金屬相對的漏極金屬，其特征在于，所述源極金屬上連接寬度漸變型金屬場板，所述寬度漸變型金屬場板包括沿寬度方向排布的若干寬度漸變型金屬層，每一個(gè)所述寬度漸變型金屬層的寬度沿著源極到漏極的方向逐漸減小，所述各寬度漸變型金屬層的長度不同。

2.如權(quán)利要求1所述的一種橫向雙擴(kuò)散金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)管，其特征在于，所述寬度漸變型金屬場板還包括：塊狀金屬層；所述塊狀金屬層一端與源極金屬連接，另一端連接所述寬度漸變型金屬層。

3.如權(quán)利要求2所述的一種橫向雙擴(kuò)散金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)管，其特征在于，所述塊狀金屬層和寬度漸變型金屬層為一次成型的整體。

4.如權(quán)利要求1所述的一種橫向雙擴(kuò)散金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)管，其特征在于，所述寬度漸變型金屬場板包括沿寬度方向排布的多個(gè)寬度漸變型第一金屬層和沿寬度方向排布的多個(gè)寬度漸變型第二金屬層；所述寬度漸變型第一金屬層和寬度漸變型第二金屬層的長度不同。

5.如權(quán)利要求4所述的一種橫向雙擴(kuò)散金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)管，其特征在于，所述寬度漸變型第一金屬層和寬度漸變型第二金屬層交錯(cuò)排布。

6.如權(quán)利要求1所述的一種橫向雙擴(kuò)散金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)管，其特征在于，所述源極金屬和漏極金屬之間的空隙填充介質(zhì)層。

7.如權(quán)利要求6所述的一種橫向雙擴(kuò)散金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)管，其特征在于，所述介質(zhì)層下方連接場氧化層，場氧化層和介質(zhì)層的厚度之和大于1μm。

8.如權(quán)利要求1所述的一種橫向雙擴(kuò)散金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)管，其特征在于，通過調(diào)節(jié)寬度漸變型金屬層的長度或者調(diào)節(jié)金屬層寬度的漸變速度，調(diào)節(jié)寬度漸變型金屬場板上所感應(yīng)的電荷量。

9.一種應(yīng)用于打印機(jī)、電動機(jī)或者平板顯示器上的驅(qū)動芯片，其特征在于，包括：采用權(quán)利要求1-8所述的任一種橫向雙擴(kuò)散金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)管。