[發明專利]CCD相機調整固定裝置及其調整固定方法

有效

• 申請號: 201711051622.7
• 申請日: 2017-10-31
• 公開（公告）號: CN109725496B
• 公開（公告）日: 2020-08-04
• 發明（設計）人: 袁偉杰;周媛紅
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

本發明公開了一種CCD相機調整固定裝置及其固定調整方法，所述CCD相機調整固定裝置用于調整、固定CCD相機和載體之間的位置，所述CCD相機調整固定裝置包括轉接鏡筒、固定板、若干固定螺釘和若干鎖緊螺釘，所述CCD相機和轉接鏡筒固定連接，所述轉接鏡筒通過所述固定螺釘固定在所述固定板上，所述固定板通過所述鎖緊螺釘固定在所述載體上，所述固定板上具有若干腰形孔用于調整CCD相機與載體之間的角度。CCD相機在載體上連接穩定，避免了CCD相機不穩定而獲取分辨率低的圖像，影響對準系統的精確性。所述CCD相機調整固定裝置的固定調整方法操作簡單，方便快捷，節約了動作時間，提高了生產效率。

技術領域

本發明涉及光刻機領域，特別涉及CCD相機調整固定裝置及其調整固定方法。

背景技術

對準系統是光刻機系統中一個非常重要的核心分系統，對準精度往往決定了光刻機所能達到的精度。機器視覺系統(MVS，Machine Vision System)作為一種對準傳感器，廣泛應用于光刻領域。機器視覺系統通常用于把掩模上的標記和硅片上的標記進行對準。CCD相機是機器視覺系統中的核心部件，用于采集圖像信號、傳輸信號。CCD相機通過獲取一定分辨率的圖像，控制計算機通過標定板及運動平臺完成機器視覺系統的標定，再通過模板匹配定位，實現對被測物的定位。因此CCD相機固定的穩定性直接影響機器視覺系統的定位精度。

現有CCD相機調整固定裝置采用旋轉螺紋調整、鎖緊環固定的方式。如圖1所示，CCD相機801通過螺紋安裝到CCD座803上，其調整方式為通過直接旋轉CCD相機801和CCD座803之間的連接螺紋，旋轉到一定角度后再將鎖緊環802旋轉到CCD相機801的端面上，進而將CCD相機801固定在CCD座803上，再通過CCD座803安裝到載體上。由于CCD相機801的固定僅靠鎖緊環802的螺紋預緊力，并無其他防松結構，故在一定的振動環境下，鎖緊環802會松動，進而造成CCD相機801的不穩定，CCD相機獲取的圖像分辨率低，影響對準系統的精確性。另一方面CCD座803采用金屬材料加工，CCD相機801產生的熱量通過CCD座803直接傳遞到載體，影響載體的性能。

發明內容

本發明提供了一種CCD相機調整固定裝置，用以解決現有的CCD相機調整固定裝置固定不牢固的問題。

為了解決上述技術問題，本發明的技術方案是：

一種CCD相機調整固定裝置，用于調整、固定CCD相機和載體之間的位置，所述CCD相機調整固定裝置包括轉接鏡筒、固定板、若干固定螺釘和若干鎖緊螺釘，所述CCD相機和轉接鏡筒固定連接，所述轉接鏡筒通過所述固定螺釘固定在所述固定板上，所述固定板通過所述鎖緊螺釘固定在所述載體上，所述固定板上具有若干腰形孔用于調整CCD相機與載體之間的角度。所述CCD相機連接在所述轉接鏡筒上，所述轉接鏡筒通過固定螺釘固定在通過鎖緊螺釘固定在載體上的固定板上，所述CCD相機通過螺釘固定方式固定在所述載體上，當載體有振動時，螺釘固定的方式較穩定不易產生松動，CCD相機在載體上連接穩定，避免了CCD相機不穩定而獲取分辨率低的圖像，影響對準系統的精確性。進行調整時，松開所述固定螺釘或同時所述固定螺釘和鎖緊螺釘，整體旋轉所述轉接鏡筒和CCD相機至需要的位置，然后擰緊松開的螺釘完成所述CCD相機10的調整。

作為優選，所述CCD相機和轉接鏡筒采用螺紋連接，所述CCD相機上設置有C-Mount接口。

作為優選，所述固定板包括轉接所述轉接鏡筒的轉接部和環繞所述轉接部設置的固定部；所述轉接部上設有與所述固定螺釘數量對應的固定螺釘過孔，所述固定螺釘過孔呈圓周分布，所述轉接鏡筒設置在所述轉接部一側，所述固定螺釘從所述轉接部的另一側穿過所述固定螺釘過孔連接所述轉接鏡筒；所述固定部上設有與所述鎖緊螺釘數量對應的鎖緊螺釘過孔，所述鎖緊螺釘過孔呈圓周分布，所述鎖緊螺釘從所述固定螺釘的對側穿過所述鎖緊螺釘過孔連接所述載體。

作為優選，所述鎖緊螺釘過孔為腰形孔。